[实用新型]一种半导体金属管侧孔加工快速定位工装

说明书

本实用新型公开了一种半导体金属管侧孔加工快速定位工装，属于半导体加工领域。本实用新型包括安装在旋转四轴上的后座、顶针、调节块、尾部液压装置，调节块用于将待加工金属管固定在本装置上，本实用新型通过在调节块的端面上套设有用于固定连接的销孔、调节块的圆周面上设有用于锁定的通孔，从而实现了调节块的快速拆卸，适用于不用尺寸金属管的加工。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，具体涉及一种半导体金属管侧孔加工快速定位工装。

背景技术

半导体设备金属水冷管作为设备常用部件，在半导体设备中起关键冷却作用，其金属管侧壁上需要加工出水道孔，用于冷却水的流通。但在加工水道孔时，由于不同型号的冷却管形状不同，需要时常更换定位装置，影响加工效率，为此设计新型装置方便更换，提高效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于不同型号的金属管的加工快速定位装置。

本实用新型的技术方案是：一种半导体金属管侧孔加工快速定位工装，包括安装在旋转四轴上的后座，还包括顶针、调节块、尾部液压装置，后座的一端设有内螺纹，用于将其安装在加工台的旋转四轴上，后座的另一端开设有用于安装顶针的安装孔，顶针的尾部设置在安装孔内，顶针的端部突出于后座设置，顶针与安装孔端面之间设有弹簧，弹簧的一端固定在安装孔端面上，另一端固定在顶针的尾部，顶针的顶部端面倾斜设置，顶部端面上设有调节块，调节块固定连接在后座上，调节块的端面上套设有用于固定连接的销孔，调节块的圆周面上设有用于锁定的通孔，通孔与销孔相连通，金属管设置于调节块与尾部液压装置之间。

进一步的技术方案，调节块通过销孔内的定位销与后座连接，定位销通过通孔内的连接螺丝锁紧。

进一步的技术方案，调节块通过销孔内的定位销与金属管端面连接，定位销通过通孔内的连接螺丝锁紧。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型中的活动顶针改变传统的一个倒角面的设计，改为两个倒角面，并配合调节块，可实现不同零件的快速切换，提高零件的切换效率。

2、本实用新型利用活动顶针的多个定位面，能够实现一个装置适用于多个零件加工，有效的降低了模具成本。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图，

图2为本实用新型结构示意图剖视图，

其中，1、后座，2、顶针，21、弹簧，3、调节块，31、销孔， 32、通孔，4、金属管，5、尾部液压装置。

具体实施方式

下面通过非限制性实施例，进一步阐述本实用新型，理解本实用新型。

如图1-2，本实用新型为一种半导体金属管侧孔加工快速定位工装，包括安装在旋转四轴上的后座1，还包括顶针2、调节块3、尾部液压装置5，后座1的一端设有内螺纹，用于将其安装在加工台的旋转四轴上，后座1的另一端开设有用于安装顶针2的安装孔，顶针 2的尾部设置在安装孔内，顶针2的端部突出于后座1设置，顶针2 与安装孔端面之间设有弹簧21，弹簧21的一端固定在安装孔端面上，另一端固定在顶针2的尾部，顶针2的顶部端面倾斜设置，顶部端面上设有调节块3，调节块3固定连接在后座1上，调节块3的端面上套设有用于固定连接的销孔31，调节块3的圆周面上设有用于锁定的通孔32，通孔32与销孔31相连通，金属管4设置于调节块3与尾部液压装置5之间。调节块3通过销孔31内的定位销与后座1连接，定位销通过通孔32内的连接螺丝锁紧。需要更换调节块3时，只需要拔出调节块3同后座1之间的定位销，拆开同后座1的连接螺丝即可实现更换。