[实用新型]一种VCSEL激光器

说明书

本实用新型提供一种VCSEL激光器，通过设置绝缘介质层、第一氧化层和第二氧化层对电流进行限制，被绝缘介质层环绕的透明导电层和第一欧姆接触层构成第一导电通道，第一氧化层具有第二导电通道，第二氧化层具有第三导电通道，且出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸依次减小，从而能够有效地将电流导向由第一导电通道、第二导电通道和第三导电通道限定的区域，提高激光效率。

技术领域

本实用新型涉及VCSEL技术领域，尤其涉及一种VCSEL激光器。

背景技术

近年来，随着网络技术的迅猛发展，网络用户急剧上升，网络拥挤日益严重，对网络的传输容量和传输速度的要求越来越高，其中垂直腔面发射激光器(又称VCSEL激光器)尤其引人注目。它不仅提供了更多的自由波长，大大降低系统的运营成本和备份成本，极大地提高了系统的容量和传输量，且波长实时可调，是未来全光网络的关键器件。

现有的垂直腔面发射激光器，通常采用设置氧化层来限制电流，实现电流引导，但是其电流仍然容易向四周扩散，激光器的激射效率低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的为：提供一种激射效率高的VCSEL激光器。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种VCSEL激光器，包括：沿垂直方向依次层叠的第一电极、导电基板、键合层、透明导电层、第一欧姆接触层、第一DBR层、第一氧化层、有源层、第二氧化层、第二欧姆接触层和第二DBR层，所述透明导电层位于所述导电基板的中心区域，所述第一欧姆接触层位于所述第一DBR层的中心区域，所述第二DBR层位于所述第二欧姆接触层的中心区域，

还包括绝缘介质层和环形第二电极，所述绝缘介质层设于所述导电基板和所述第一DBR层之间并环绕所述透明导电层和第一欧姆接触层设置，所述环形第二电极设于所述第二欧姆接触层设有第二DBR层的一侧并环绕所述第二DBR层设置，

所述透明导电层和第一欧姆接触层构成第一导电通道，所述第一氧化层具有第二导电通道，所述第二氧化层具有第三导电通道，所述环形第二电极的中空部位构成出光孔，所述出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸依次减小。

进一步的，所述出光孔的中心、第三导电通道的中心、第二导电通道的中心和第一导电通道的中心位于同一直线上。

进一步的，所述出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸呈线性依次减小。

进一步的，所述出光孔、第三导电通道、第二导电通道和第一导电通道在水平方向的尺寸呈非线性依次减小。

进一步的，所述透明导电层和所述第一欧姆接触层的厚度之和与所述绝缘介质层的厚度相同。

进一步的，还包括保护层，所述保护层设于所述第二DBR背离所述第二欧姆接触层的一侧，所述环形第二电极环绕所述保护层设置，所述第二DBR层与所述保护层的厚度之和小于所述环形第二电极的厚度。

进一步的，还包括金属反射镜，所述金属反射镜分别设于所述键合层与所述透明导电层之间，以及所述键合层与所述绝缘介质层之间，所述透明导电层位于所述金属反射镜的中心区域。

进一步的，还包括第一限制层和第二限制层，所述第一限制层设于所述第一氧化层与所述有源层之间，所述第二限制层设于所述第二氧化层与所述有源层之间。