[实用新型]一种电子真空泵及其排气管消音装置

权利要求书

1.一种排气管消音装置，其特征在于，其包括呈筒状的壳体，所述壳体的一端设有用于与排气管相接的进气口，所述壳体的另一端设有出气口，所述壳体的内部设有分别与所述进气口和所述出气口相连通的气流空腔，所述气流空腔的腔壁上设有消音结构，所述消音结构沿所述壳体的轴线方向呈锯齿状。

2.如权利要求1所述的排气管消音装置，其特征在于，所述消音结构包括若干个沿所述壳体的轴线方向排布的环形消音单元。

3.如权利要求2所述的排气管消音装置，其特征在于，所述环形消音单元包括至少一个环形斜面，所述环形斜面倾斜于所述壳体的轴线方向且使得所述气流空腔形成一个喇叭形空腔，所述喇叭形空腔的较窄一端靠近所述进气口设置，所述喇叭形空腔的较宽一端靠近所述出气口设置。

4.如权利要求3所述的排气管消音装置，其特征在于，所述环形斜面与所述壳体的轴线方向之间的夹角呈10°-60°。

5.如权利要求3所述的排气管消音装置，其特征在于，所述环形消音单元包括至少一个环形平面，所述环形平面垂直于所述壳体的轴线方向，所述环形平面连接相邻的两环形斜面。

6.如权利要求5所述的排气管消音装置，其特征在于，所述环形平面的外侧与所属的环形消音单元的环形斜面的较宽一端相接，所述环形平面的内侧与相邻的环形消音单元的环形斜面的较窄一端或者与所述出气口相接。

7.如权利要求3-6中任一项所述的排气管消音装置，其特征在于，所述壳体的进气口的内径大于或等于所述喇叭形空腔的较窄一端的内径且小于所述喇叭形空腔的较宽一端的内径。

8.如权利要求3-6中任一项所述的排气管消音装置，其特征在于，所述壳体的出气口的内径小于所述喇叭形空腔的较宽一端的内径。

9.一种电子真空泵，其特征在于，包括电子真空泵本体及连接于所述电子真空泵本体上的排气管，所述排气管上设有如权利要求1-8中任一项所述的排气管消音装置。

10.如权利要求9所述的电子真空泵，其特征在于，所述排气管包括与所述电子真空泵本体相接的进气端和与所述排气管消音装置的进气口相接的出气端，所述出气端插装于所述进气口中且所述出气端与所述进气口之间为过盈配合。