[实用新型]一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置

说明书

本实用新型涉及霍尔器件性能测试领域，具体涉及一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其包括可调磁场组件、探针组件、控温组件、电流源及测试级万用表，所述可调磁场组件用于产生均匀恒定磁场，所述控温组件用于保障待测晶圆片处于指定温度，所述探针组件用于连接霍尔器件引脚，所述测试级万用表用于完成电气特性测量。通过可调磁场组件和控温组件温度的调节，实现晶圆级霍尔器件温漂特性测试，探针组件，使得单次升降温可以实现多颗器件的性能测试，提高测试效率和精度。

技术领域

本实用新型涉及霍尔器件性能测试领域，具体地说涉及晶圆级霍尔器件温漂性能测试领域。

背景技术

霍尔效应是电磁效应的一种，当电流垂直于外磁场通过导体时，载流子发生偏转，垂直于电流和磁场的方向会产生一附加电场，从而在导体的两端产生电势差，这一现象就是霍尔效应，这个电势差也被称为霍尔电势差。

根据霍尔效应做成的霍尔器件，将物体的运动参量转变为数字电压的形式输出，使之具备传感和开关的功能。霍尔器件通过检测磁场变化，转变为电信号输出，可用于监视和测量各运动部件运行参数的变化。例如位置、位移、角度、角速度、转速等等。霍尔器件的研发和生产主要分为外延、前道工序、后道工序及测试。前道工序指在外延片上进行显影、刻蚀、电极制备等，后道工序则主要指磨片、划片、封装。霍尔器件的各主要性能主要取决于外延及前道工序，故在前道工序结束后若能对晶圆片进行主要性能的检验会大大缩短研发周期及节省量产成本。

为此，公告号“CN202372613U”公告日为2012.08.08的中国实用新型专利公开了一种在晶圆级霍尔器件进行测试的装置，包括吸盘、探卡、带有磁芯的线圈，能够实现在晶圆级对霍尔器件实现测试，但是由于缺少控温装置，无法测试在霍尔器件的核心参数之一的温漂性能，此外，该实用新型其局限在于磁芯所产生的剩磁引起的测量误差无法完全消除。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中对于晶圆级霍尔器件温漂性能进行检测的缺陷，从而提供一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置。

本实用新型所提供的一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其包括可调磁场组件、探针组件、控温组件、电流源及测试级万用表，所述可调磁场组件用于产生均匀恒定磁场，所述控温组件用于保障待测晶圆片处于指定温度，所述探针组件用于连接霍尔器件引脚，所述测试级万用表用于完成电气特性测量。

优选的，所述可调磁场组件包括定位环、上压圈、线圈绕组及下压圈，所述线圈绕组绕制在所述上压圈及下牙签上，所述上压圈及下压圈均使用空心线圈绕制方式形成。

优选的，所述线圈绕组圈数可调节设置，所述线圈绕组与所述电流源电连接设置。

优选的，所述探针组件设置为若干组，每组所述探针组件包括探针、探针杆、调节座及连接线，所述探针固定设置在所述探针杆上，所述调节座固定在可调磁场组件上，所述调节座用于对所述探针杆位置进行调整，所述连接线用于将所述探针组件与晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置其他装置相互连接。

优选的，所述连接线与所述电流源电连接设置，用于提供霍尔器件的驱动，所述连接线与所述测试级万用变连接，用于检测霍尔器件的电气特性。

优选的，还包括一探针测试机，所述探针测试机包括热板及真空组件，所述可调磁场组件及探针组件均设置在所述探针测试机上，所述热板用于对可调磁场组件进行承接，所述真空组件用于将所述可调磁场组件吸附在所述热板上。

优选的，所述探针测试机还包括一显微镜，所述显微镜用于对所述霍尔器件与探针的连接进行实施观测。

优选的，所述探针测试机上还设置有定位环，所述定位环位于所述热板表面。

本实用新型技术方案，具有如下优点：