[实用新型]一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置

权利要求书

1.一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于，包括可调磁场组件、探针组件、控温组件、电流源及测试级万用表，所述可调磁场组件用于产生均匀恒定磁场，所述控温组件用于保障待测晶圆片处于指定温度，所述探针组件用于连接霍尔器件引脚，所述测试级万用表用于完成电气特性测量。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于：所述可调磁场组件包括定位环、上压圈、线圈绕组及下压圈，所述线圈绕组绕制在所述上压圈及下牙签上，所述上压圈及下压圈均使用空心线圈绕制方式形成。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于：所述绕圈组件圈数可调节设置，所述绕圈组件与所述电流源电连接设置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于：所述探针组件设置为若干组，每组所述探针组件包括探针、探针杆、调整座及连接线，所述探针固定设置在所述探针杆上，所述调整座固定在可调磁场组件上，所述调整座用于对所述探针杆位置进行调整，所述连接线用于将所述探针组件与晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置其他装置相互连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于：所述连接线与所述直流电流电连接设置，用于提供霍尔器件的驱动，所述连接线与所述测试级万用变连接，用于检测霍尔器件的电气特性。

6.根据权利要求1所述的晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于：还包括一探针测试机，所述探针测试机包括热板及真空组件，所述可调磁场组件及探针组件均设置在所述探针测试机上，所述热板用于对可调磁场组件进行承接，所述真空组件用于将所述可调磁场组件吸附在所述热板上。

7.根据权利要求6所述的晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于：所述探针测试机还包括一显微镜，所述显微镜用于对所述霍尔器件与探针的连接进行实施观测。

8.根据权利要求6所述的晶圆级霍尔器件温漂特性测试装置，其特征在于：所述探针测试机上还设置有定位环，所述定位环位于所述热板表面。