[实用新型]一种实时间接测量溅射靶材温度装置

权利要求书

1.一种实时间接测量溅射靶材温度装置，其特征在于，包括贴合设置在靶材铜底座（14）上的导热固定装置及设置在导热固定装置上的温度传感器装置，所述导热固定装置包括上导热固定铜块（1）及下导热固定铜块（2），所述上导热固定铜块（1）及下导热固定铜块（2）通过固定螺丝（5）设置在靶材铜底座（14）内侧位置；所述温度传感器装置包括温度传感器探头（4）、与温度传感器探头（4）相连的防水耐高温线缆（3）及与防水耐高温线缆（3）相连的显示器（13）。

2.根据权利要求1所述的一种实时间接测量溅射靶材温度装置，其特征在于，所述上导热固定铜块（1）及下导热固定铜块（2）上分别有半圆形凹槽，且上导热固定铜块（1）及下导热固定铜块（2）上的半圆形凹槽拼接构成圆形凹槽，所述温度传感器探头（4）嵌设在圆形凹槽内。

3.根据权利要求1所述的一种实时间接测量溅射靶材温度装置，其特征在于，所述靶材铜底座（14）下方设有底座（10），所述靶材铜底座（14）与底座（10）围接构成密闭腔体，从而形成冷却水箱。

4.根据权利要求3所述的一种实时间接测量溅射靶材温度装置，其特征在于，所述冷却水箱上设有冷却水进水管（12）及冷却水出水管（11），所述防水耐高温线缆（3）上部分置于冷却水箱中，下部分穿过冷却水进水管（11）置于空气中。

5.根据权利要求4所述的一种实时间接测量溅射靶材温度装置，其特征在于，所述防水耐高温线缆（3）和冷却水进水管（12）接触部分采用防水耐高温胶水粘合密封。

6.根据权利要求4所述的一种实时间接测量溅射靶材温度装置，其特征在于，所述底座（10）上固定设置有磁铁（6）。