[实用新型]一种10G抗反射分布反馈式激光器有效
| 申请号： | 201920785079.1 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN209993866U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 董延;李马惠;潘彦廷;庄文杰;王良波;朱振斌;周桂林;杨毅;陈文君 | 申请（专利权）人： | 陕西源杰半导体技术有限公司;华为技术有限公司;博创科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12;H01S5/22 |
| 代理公司： | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 712000 陕西省咸阳市西咸新区沣西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍射光栅层 包层 基板 刻蚀 金属电极层 光波导层 抗反射层 抗反射 源区 分布反馈式激光器 抗反射镀膜层 本实用新型 基板下表面 激光器增益 加厚 对接区域 反向传输 谐振行为 一端设置 依次设置 有效衰减 耦光效率 出光端 镀膜层 反射光 高反射 光波导 光耦合 接触层 生长 覆盖 | ||
1.一种10G抗反射分布反馈式激光器，其特征在于，包括基板(10)，所述基板(10)上端沿水平方向设置有源区(11)和光波导层(21)，所述有源区(11)上端面自下至上依次设置有第一包层(12)和衍射光栅层(13)，所述光波导层(21)上生长有InP层(20)，所述光波导层(21)靠近有源区(11)一侧的上端面高于衍射光栅层(13)的上端面，光波导层(21)下端面低于有源区(11)的下端面。
2.根据权利要求1所述的一种10G抗反射分布反馈式激光器，其特征在于，所述光波导层(21)在水平方向上，自对接端至出光端厚度逐渐减小，当减小至Dq时，光波导层(21)的厚度不再减小，其中Dq为设定值，对接端为光波导层(21)远离出光端的一端。
3.根据权利要求2所述的一种10G抗反射分布反馈式激光器，其特征在于，所述Dq为20nm～100nm。
4.根据权利要求1所述的一种10G抗反射分布反馈式激光器，其特征在于，所述第一包层(12)和衍射光栅层(13)一端设置有端面刻蚀区(15)，所述端面刻蚀区(15)的刻蚀底面距有源区(11)底面的垂直距离L2为20nm～100nm。
5.根据权利要求1所述的一种10G抗反射分布反馈式激光器，其特征在于，所述光波导层(21)的长度L1为20μm～70μm。
6.根据权利要求1所述的一种10G抗反射分布反馈式激光器，其特征在于，所述激光器的光波导结构采用脊波导结构。
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