[实用新型]一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路

权利要求书

1.一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，其特征在于，包括纯水抛光系统和抛光液抛光系统和主管道（1），所述纯水抛光系统包括第一管道（2）和与所述第一管道（2）并联的第二管道（3），所述第一管道（2）上设置有大流量气动阀（4），所述第二管道（3）上设置有小流量气动阀（5），第一管道（2）和第二管道（3）上还分别设置有相配合使用的第一手动调节阀（6），纯水分别通过纯水大流量气动阀（4）和小流量气动阀（5）汇入设置有第一流量计（7）的第三管道（8）；所述抛光液抛光系统包括第四管道（9）和设置在所述第四管道（9）上的抛光液调节阀（10）和第一单向阀（11）；所述第三管道（8）和第四管道（9）汇入所述主管道（1），主管道（1）上设置有主气动阀（12）、第二流量计（13）和第一温度探头（14）。

2.如权利要求1所述的一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，其特征在于：所述第一管道（2）的延伸部一端连接纯水水源，并通过设置在延伸部的纯水调节阀（15）进行导流和截流。

3.如权利要求1所述的一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，其特征在于：所述主管道（1）的尾端连接有主转盘中心（16）。

4.如权利要求3所述的一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，其特征在于：抛光液抛光时，抛光液经第四管道（9）和主管道（1）进入主转盘中心（16）。

5.如权利要求3所述的一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，其特征在于：纯水抛光包括纯水刷布、纯水装载和纯水卸载，纯水刷布时，纯水经第一管道（2）和第三管道（8）进入主管道（1）并最终流入主转盘中心（16），通过大流量气动阀（4）控制纯水流量以实现对主管道（1）进行冲洗；纯水装载和纯水卸载时，纯水经第二管道（3）和第三管道（8）进入主管道（1）并最终流入主转盘中心（16），通过小流量气动阀（5）控制纯水流量以实现对主管道（1）进行冲洗。

6.如权利要求1所述的一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，其特征在于：所述第三管道（8）上还设置有用于检测纯水温度的第二温度探头（17）和第二单向阀（18）。

7.如权利要求6所述的一种适用于抛光机的抛光液及纯水供应管路，其特征在于：所述第一温度探头（14）和第二温度探头（17）均采用型号为PT100的温度探头。