[实用新型]一种喷气式分片装置有效

专利信息
申请号: 201920761384.7 申请日: 2019-05-24
公开(公告)号: CN210156407U 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 胡宏峰;王相军 申请(专利权)人: 上海釜川自动化设备有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 尚欣
地址: 200000 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 喷气式 分片 装置
【权利要求书】:

1.一种喷气式分片装置,包括机架、硅片(1)、料托(2)、滑板(3)、驱动电机(4)、同步带(5)及滑块(9),所述料托(2)设置在滑板(3)上,滑板(3)下方设置若干滑块(9),滑板(3)下方设置驱动电机(4),机架上设有料托(2),其特征在于:机架上设置喷嘴支架(13),所述喷嘴支架(13)上设置若干个喷嘴集成块(11),喷嘴集成块(11)在喷嘴支架(13)上形成相对的两排,所述喷嘴集成块(11)一端设置气动接头(8),所述气动接头(8)的另一端与外接供气系统连接,所述喷嘴集成块(11)在喷嘴支架(13)上形成相对的两排,所述喷嘴集成块(11)上下两端分别设置喷嘴(6),所述喷嘴(6)上设置喷孔,所述喷嘴(6)之间设置间距,所述喷嘴集成块(11)一端设置压力表(7),所述压力表(7)与喷嘴集成块(11)固定连接,所述喷嘴支架(13)上设置感应开关(10),所述驱动电机(4)上设置丝杆(12),所述丝杆(12)设置在下方,所述丝杆(12)与驱动电机(4)之间设置同步带(5)。

2.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:所述压力表(7)上设置报警装置。

3.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:气动接头(8)套结处设置加强环,所述加强环上设有缓冲棱。

4.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:所述喷孔的孔径大小在0.5-0.8mm内。

5.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:所述间距的大小在1.5-2.25mm范围内。

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