[实用新型]一种喷气式分片装置有效
申请号: | 201920761384.7 | 申请日: | 2019-05-24 |
公开(公告)号: | CN210156407U | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 胡宏峰;王相军 | 申请(专利权)人: | 上海釜川自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 尚欣 |
地址: | 200000 上海市嘉定*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 喷气式 分片 装置 | ||
1.一种喷气式分片装置,包括机架、硅片(1)、料托(2)、滑板(3)、驱动电机(4)、同步带(5)及滑块(9),所述料托(2)设置在滑板(3)上,滑板(3)下方设置若干滑块(9),滑板(3)下方设置驱动电机(4),机架上设有料托(2),其特征在于:机架上设置喷嘴支架(13),所述喷嘴支架(13)上设置若干个喷嘴集成块(11),喷嘴集成块(11)在喷嘴支架(13)上形成相对的两排,所述喷嘴集成块(11)一端设置气动接头(8),所述气动接头(8)的另一端与外接供气系统连接,所述喷嘴集成块(11)在喷嘴支架(13)上形成相对的两排,所述喷嘴集成块(11)上下两端分别设置喷嘴(6),所述喷嘴(6)上设置喷孔,所述喷嘴(6)之间设置间距,所述喷嘴集成块(11)一端设置压力表(7),所述压力表(7)与喷嘴集成块(11)固定连接,所述喷嘴支架(13)上设置感应开关(10),所述驱动电机(4)上设置丝杆(12),所述丝杆(12)设置在下方,所述丝杆(12)与驱动电机(4)之间设置同步带(5)。
2.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:所述压力表(7)上设置报警装置。
3.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:气动接头(8)套结处设置加强环,所述加强环上设有缓冲棱。
4.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:所述喷孔的孔径大小在0.5-0.8mm内。
5.根据权利要求1所述的一种喷气式分片装置,其特征在于:所述间距的大小在1.5-2.25mm范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的