[实用新型]一种安装工具有效

申请号：	201920652370.1	申请日：	2019-05-08
公开（公告）号：	CN209571401U	公开（公告）日：	2019-11-01
发明（设计）人：	魏远哲;刘焰平	申请（专利权）人：	武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号：	H01L21/683	分类号：	H01L21/683;H01L21/67;B25B11/00;B23P19/00
代理公司：	上海申新律师事务所 31272	代理人：	俞涤炯
地址：	430205 湖北***	国省代码：	湖北;42
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摘要：
搜索关键词：	环形架安装工具钩挂本实用新型静电吸盘安装孔挂钩半导体制造技术周向均匀设置环形凸缘分气盘聚合物同一面电极均布刻蚀良率同向外沿制程
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【说明书】：

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种安装工具，用于静电吸盘的安装，安装工具包括：一环形架，环形架上设有多个安装孔，多个安装孔沿环形架的周向均匀设置；多个挂钩，均布于环形架的周向外侧，挂钩包括钩挂部，多个挂钩的钩挂部朝向环形架的同一面；一环形凸缘，设置于环形架与钩挂部同向的一面的外沿。本实用新型技术方案的有益效果在于：提供一种静电吸盘的安装工具，使上电极和分气盘之间距离均匀，避免聚合物聚集在缝隙内而影响刻蚀制程的良率。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种用于安装静电吸盘的安装工具。

背景技术

随着半导体制造工艺的发展，等离子体处理工艺被广泛应用于半导体元器件的制程中，上述制程，如沉积、刻蚀工艺等一般是在等离子体处理装置内进行。静电吸盘(Electrostatic chuck，简称ESC)是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称，其所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。

现有一种ESC包括上电极(up ground ring)和分气盘(shower head)，上电极为圆环形，分气盘为圆盘形。由于上电极的内径略大于分气盘的直径，因此，上电极与分气盘之间有缝隙，若缝隙不均匀则会导致刻蚀制程中产生的聚合物(polymer)聚集在上电极与分气盘之间，若聚合物掉落在正在刻蚀的晶圆上，则蚀刻晶圆的过程中容易造成缺陷，影响晶圆的良率。因此，现需一种ESC安装工具，使上电极和分气盘距离均匀，避免腔体(chamber)内的刻蚀制程失败。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种安装工具。

具体技术方案如下：

本实用新型包括一种安装工具，用于静电吸盘的安装，所述安装工具包括：

一环形架，所述环形架上设有多个安装孔，多个所述安装孔沿所述环形架的周向均匀设置；

多个挂钩，均布于所述环形架的周向外侧，所述挂钩包括钩挂部，所述多个挂钩的所述钩挂部朝向所述环形架的同一面；

一环形凸缘，设置于所述环形架的与所述钩挂部同向的一面的外沿。

优选的，所述挂钩包括突出部，所述突出部一端自所述环形架的周向外侧径向伸出，另一端连接所述钩挂部。

优选的，所述钩挂部包括垂直部及水平部；

所述垂直部的一端连接所述突出部，另一端连接所述水平部；

所述水平部一端连接所述垂直部远离所述突出部的一端，并向所述环形架方向延伸。

优选的，所述水平部的长度与所述突出部长度相同。