[实用新型]一种带材连续式真空等离子体镀膜系统

说明书

本实用新型公开了一种带材连续式真空等离子体镀膜系统，包括真空镀膜室、抽真空系统、收放卷装置和驱动装置；收放卷装置包括放卷室和收卷室；抽真空系统通过真空连接通道分别与放卷室和收卷室连通；真空镀膜室上分布有若干阴极靶和进气管；放卷室和收卷室内部分别设置有放卷涨缩头和收卷涨缩头，放卷室和收卷室内部侧壁上分别设有加热装置，带材在真空镀膜室内通过阴极靶向带材上溅射金属离子，气体通过进气管流入真空镀膜室后与金属离子发生作用沉积在带材表面；本实用新型提供的真空等离子体镀膜系统使带材表面膜层沉积效率高、沉积厚度均匀、沉积涂层效果好。可以实现带材真空等离子体镀膜生产的连续化，大面积、高效率、大规模生产。

技术领域

本实用新型涉及真空等离子体镀膜设备技术领域，特别地是一种带材连续式真空等离子体镀膜系统。

背景技术

现有的技术对连续带状或板状金属产品进行镀膜加工的真空等离子体镀膜设备，技术落后，能耗高，膜厚不均匀，产量低等缺点，加工该类产品的设备一般包括周期式真空等离子体镀膜设备和连续式真空等离子体镀膜设备两种：

1)周期式真空等离子体镀膜设备，源于其生产加工产品的方式是以少量单次装料的方式生产作为一生产周期，产品放置量比较少，尺寸较小，重量较轻，总结所得该种设备普遍存在以下缺点：1、生产效率低，每生产一炉次就要重新升温和抽真空，生产周期比较长，产出少。2、能耗高，每生产一炉次都要重新升温和抽真空，消耗大量的电能；同时气体消耗量较高，每生产一炉次都要打开炉门把多余的工艺气体放掉，然后再充入新的工艺气体补充炉腔。3、工装夹具复杂，要使炉内的产品(如带状或平板状)在旋转的过程中保持平稳和不碰到腔体内壁，要设计复杂的工装夹具来固定它。4、生产每一板状(例如不锈钢板)或带状(例如不锈钢带)产品利用率低，由于工装夹具的关系，如带状产品或板状产品总是要有和工装连接的地方，而这些地方往往被挡住或有工艺连接孔，以至镀膜没有镀到或者有工艺连接孔的地方就要必须去掉，造成了浪费。5、靶材利用率低，由于工装夹具较多，所以每次镀膜会把工装夹具给镀上，消耗了不必要的靶材。6、再加工利用率低，产品再加工范围窄，因为如平板状产品长度有限，宽度也比较窄，不能加工成形大件的产品，只能用于小件的加工成形。

2)为连续式真空等离子体镀膜设备，就是在同一密封真空腔内完成放卷、镀膜和收卷连续加工工序的设备，镀膜的工艺段和传动的转动动力段设计在同一个联通的真空腔，为了减少真空腔的体积，往往要把中间镀膜的部分的真空腔体尽量缩小，因而导致气体流速和均匀性收到很大的影响，导致了加工时的镀膜速度不高，颜色不均匀，同时一般工艺段为长方形，在抽真空的情况下，受大气压得挤压，容易受力比较大，易变形，制作难度和用料成本比较大，难于大范围推广使用，不能扩展其他功能，设备投入成本高，利用率低，产量低。现有连续式的带材真空镀膜多为小型产品，不能大规模应用于工业生产，产品重量小，产量较低，宽度较窄，长度较短，只能小卷镀膜，无法生产大量的稳定优质的产品，同时存在较多缺陷，容易刮伤带材表面，特别是容易刮花和损伤镜面的不锈钢板表面。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种沉积的涂层厚度均匀，沉积效率高，结合力好，可连续化大规模生产的带材连续式真空等离子体镀膜系统。

本实用新型通过以下技术方案实现的：