[实用新型]晶圆位置调整装置

权利要求书

1.一种晶圆位置调整装置，其特征在于，包括：

至少一轨道，沿竖直方向设置于一支撑架的下方，且所述轨道沿竖直方向上的投影至少部分位于所述支撑架的边缘，所述支撑架用于支撑晶圆；

调整杆，与所述轨道连接，且沿竖直方向自所述轨道向上伸出；

驱动机构，连接所述调整杆，用于驱动所述调整杆沿所述轨道运动，所述调整杆能够与发生偏移的晶圆接触，并推动所述晶圆沿其径向方向平移。

2.根据权利要求1所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，多个卡销对称分布于所述支撑架用于承载所述晶圆的表面，以限定所述晶圆的位置；所述轨道包括两段直轨道以及连接于段直轨道之间的弧形轨道，且所述卡销沿竖直方向上的投影位于所述弧形轨道上。

3.根据权利要求1所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，所述轨道包括柔性的第一子轨道；所述驱动机构包括位于所述第一子轨道内部的活塞、位于所述第一子轨道外表面的滑块以及位于所述轨道外部、且与所述第一子轨道连通的输气管；所述滑块及与其接触的部分所述第一子轨道均位于所述活塞的凹槽内；所述调整杆的一端连接所述滑块、另一端沿竖直方向自所述轨道伸出；所述输气管用于向所述第一子轨道传输气体，以推动所述活塞及所述滑块沿所述第一子轨道运动。

4.根据权利要求3所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，所述驱动机构还包括至少一滚珠；所述滚珠设置于所述活塞背离所述调整杆的一侧、且与所述第一子轨道的内壁接触，用于减少所述活塞与所述第一子轨道之间的摩擦力。

5.根据权利要求3所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，所述轨道还包括与所述第一子轨道同向延伸的第二子轨道，所述第一子轨道嵌套于所述第二子轨道内部；所述调整杆沿竖直方向自所述第二子轨道伸出。

6.根据权利要求5所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，还包括位于所述第二子轨道外侧的固定架；所述固定架中部具有与所述第一子轨道同向延伸的开口；所述调整杆自所述开口伸出，且所述固定架的边缘与所述第二子轨道连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，所述固定架中具有位于所述开口两侧的卡槽；所述卡槽与所述第二子轨道边缘的凸起卡合连接。

8.根据权利要求3所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，所述轨道的数量为2个，且两个所述轨道对称分布于所述支撑架的相对两侧。

9.根据权利要求8所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，两个所述轨道相互独立设置，两根所述调整杆分别与两个所述轨道一一连接，且两根所述调整杆的运动方向相反。

10.根据权利要求3所述的晶圆位置调整装置，其特征在于，所述驱动机构还包括设置于所述输气管中的阀门，用于调整进入所述第一子轨道的气体流速。