[实用新型]一种高纯MOS级丙酮连续生产系统

说明书

本实用新型涉及一种高纯MOS级丙酮连续生产系统，包含原料罐，所述原料罐出口与吸附塔进口相连接；所述吸附塔通过总管分别与干燥罐一进口和干燥罐二进口相连接；所述干燥罐一出口和干燥罐二出口分别与中间检测罐相连接，中间检测罐通过管路与总管相连通；中间检测罐出口与蒸馏塔进口相连接，蒸馏塔出口与冷凝器进口相连接，冷凝器和蒸馏塔之间设置有回流管；冷凝器出口与超滤器进口相连接，超滤器出口与存储罐进口相连接；本系统结构紧凑，通过吸附塔吸附工业用丙酮中的不饱和烃，利用两个干燥罐循环交替干燥脱水，可连续不间断生产，通过蒸馏、超滤进一步除杂，使丙酮达到MOS级标准，满足微电子领域使用要求。

技术领域

本实用新型涉及一种高纯MOS级丙酮连续生产系统，属于属于电子化学品生产设备技术领域。

背景技术

丙酮也称作二甲基酮，饱和脂肪酮系列中最简单的酮。熔点-95度，沸点56度，无色液体，有特殊气味。在电子化学品领域，作为清洗去油剂使用；超净高纯丙酮是半导体用电子化学品之一，主要应用于硅片的清洗等工艺，用于电子化学领域的丙酮，要求达到MOS标准，即金属杂质含量小于100ppb，控制1微米粒径粒子达到SEMI C1C2标准，适合中小规模集成电路及TFT-LCD等微电子领域的加工工艺；而工业级丙酮中含有醇、醛类不饱和烃、水和微量酸或碱性物质等杂质，其中水分最大，水的存在不仅对许多化学反应，就是对重结晶、萃取、洗涤等一系列的操作都会带来不良影响，使其不能满足微电子领域使用要求；因此需要对工业用丙酮进行脱水处理，一般是采用分子筛脱水剂的方法进行脱水处理。虽然分子筛脱水脱水工艺具有稳定、高效脱水的效果，但分子筛饱和吸附后需要进行再生，而现有技术是把分子筛脱水剂单独取出进行再生。分子筛在吸附有机物中的水分时，也会吸附少量有机物，因此如果直接把分子筛取出进行再生，存在一定的危险性，并且分子筛再生完成之后，分子筛需要冷却再重新进行装填，中间需停止生产来完成整个操作，费时费力同时也降低了生产效率。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种结构紧凑，可连续生产，生产效率高，提纯效率高的高纯MOS级丙酮连续生产系统。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种高纯MOS级丙酮连续生产系统，包含原料罐，所述原料罐出口通过管路与吸附塔相连通，所述吸附塔内设置有吸附剂；所述吸附塔通过总管分别与干燥罐一和干燥罐二相连通；所述吸附塔与干燥罐一之间的支管上设置有单向阀；所述吸附塔与干燥罐二之间的支管上设置有单向阀；所述干燥罐一的外壁下部设置有氮气进口，所述干燥罐一的外壁上部设置有氮气出口；所述干燥罐一的底部出口通过管路与中间检测罐相连通，所述干燥罐一与中间检测罐之间的管路上设置有单向阀；所述干燥罐二的外壁下部设置有氮气进口，所述干燥罐二的外壁上部设置有氮气出口；所述干燥罐二的底部出口通过管路与中间检测罐相连通，所述干燥罐二与中间检测罐之间的管路上设置有单向阀；上述干燥罐一和干燥罐二内分别设置有干燥装置；所述中间检测罐通过管路与总管相连通；所述中间检测罐的出口通过管路与蒸馏塔相连通，所述中间检测罐与蒸馏塔之间的管路上设置有单向阀；所述蒸馏塔的顶部出口通过管路与冷凝器相连通，所述冷凝器出口与蒸馏塔之间设置有回流管；所述冷凝器的出口通过管路与超滤器相连通；所述超滤器的出口通过管路与存储罐相连通；

本实用新型一种高纯MOS级丙酮连续生产系统，所述吸附塔内的吸附剂为吸附树脂；

本实用新型一种高纯MOS级丙酮连续生产系统，所述干燥罐一内和干燥罐二内的干燥装置为分子筛；

本实用新型一种高纯MOS级丙酮连续生产系统，所述分子筛为4A分子筛或5A分子筛；

本实用新型一种高纯MOS级丙酮连续生产系统，所述干燥罐一上的氮气出口和干燥罐二上的氮气出口分别设置有测温计；

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：