[实用新型]晶舟夹取手臂位移驱动机构

权利要求书

1.晶舟夹取手臂位移驱动机构，其特征在于，包括平移驱动机构、升降驱动机构、旋转驱动机构和连接杆；

所述平移驱动机构由固定座、伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成，两条所述直线滑轨一和齿条平行固定于所述固定座上，所述齿条位于两条直线滑轨一之间，所述固定座固定在所述直线滑轨一的滑块上，所述伺服电机一固定于固定座中，所述齿轮与所述齿条啮合且固定于所述伺服电机一的输出轴上；

所述升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成，两条直线滑轨二平行且竖直地固定于所述固定座中，所述基座固定在所述滚珠丝杆副的轴套上，所述伺服电机二固定于固定座中，所述伺服电机二作为动力源带动基座升降运动；

所述旋转驱动机构由伺服电机三、转轴和两个轴承座构成，两个所述轴承座固定在所述基座上，所述转轴竖直安装在这两个轴承座之间，所述伺服电机三作为动力源带动所述转轴旋转；

所述连接杆的顶端通过联轴器安装在所述转轴的底部，底端设置有用于安装晶舟夹取手臂的安装板。

2.根据权利要求1所述的晶舟夹取手臂位移驱动机构，其特征在于，所述伺服电机二与所述滚珠丝杆副之间采用皮带组件连接。

3.根据权利要求2所述的晶舟夹取手臂位移驱动机构，其特征在于，所述伺服电机三与所述转轴之间采用皮带组件连接。

4.根据权利要求3所述的晶舟夹取手臂位移驱动机构，其特征在于，位于上方的轴承座的顶部设置有支架，所述伺服电机三固定在所述支架上；所述转轴的外部设置有一圈挂在所述支架上的凸环。

5.根据权利要求1所述的晶舟夹取手臂位移驱动机构，其特征在于，所述连接杆由空心管和实心管构成，所述空心管的顶端通过联轴器与所述转轴连接，所述实心管从所述空心管的底端插入并采用螺栓与所述空心管固连。

6.根据权利要求5所述的晶舟夹取手臂位移驱动机构，其特征在于，所述实心管的两侧设置有凹槽，所述空心管的底部焊接有插在所述凹槽中的卡块。