[实用新型]一种用于光学腔面镀膜设备的载具

说明书

本实用新型涉及半导体激光器技术领域，公开了一种用于光学腔面镀膜设备的载具，包括两个结构相同且对称连接的凹形夹具；凹形夹具是具有一定厚度的方形块体；块体的上端中心向下开设有一个长度为d的凹槽；bar条的长度为D，D＞d；两个凹形夹具之间设有空隙；空隙内插有两组与空隙等厚的垫片；两组垫片设在凹槽的左右两侧；两组垫片之间的距离W大于凹槽的长度d，且W＝D。本实用新型通过将bar条插入带有凹槽的凹形夹具之间，使bar条的正反面均能够得到蒸镀，提高了蒸镀效率；此外凹形夹具之间的空隙大小可变，通过更换不同厚度的垫片，就可对待蒸镀的bar条厚度和数量进行调节，适用范围广。

技术领域

本实用新型涉及半导体激光器技术领域，特别地，涉及到一种用于光学腔面镀膜设备的载具。

背景技术

光学腔面镀膜技术是半导体激光器研制和生产过程中的核心技术之一，为了保护激光器的腔面，通常会对激光器腔面进行镀膜，把腔面从空气中隔离。镀制的腔面光学膜反射率等性能直接影响和决定半导体激光器的性能，对半导体激光器制备有重要影响。

但是目前的镀膜设备安装bar条的数量固定，而且每次仅能对Bar条的一面进行蒸镀，要完成一个完整bar条的双面蒸镀需要进行两次操作，效率很低。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供了一种结构简单合理、镀膜效率高、质量好的用于光学腔面镀膜设备的载具。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种用于光学腔面镀膜设备的载具，包括两个结构相同且对称连接的凹形夹具；所述凹形夹具是具有一定厚度的方形块体；所述块体的上端中心处向下开设有一个长度为d的凹槽；所述bar条的长度为D，D＞d；

两个凹形夹具之间设有空隙；所述空隙内插有两组与空隙等厚的垫片；两组垫片设在所述凹槽的左右两侧；两组垫片之间的距离W大于凹槽的长度d，且W＝D。

进一步，两个所述凹槽的底面之间夹设有与bar条下端形状匹配的支撑片，所述支撑片的上端高于所述凹槽的底面。

进一步，在所述凹形夹具上设有若干螺纹孔；所述螺纹孔均匀分布在凹槽的左右两侧；两个所述凹形夹具通过在对应的螺纹孔上设置螺栓和匹配的螺母可拆卸连接；

进一步，所述凹槽的侧壁及底面均为朝向外侧的斜面，且侧壁与底面的连接处采用光滑的圆角过渡。

更进一步，所述凹形夹具上端设有与镀膜设备连接用的连接孔。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

本实用新型的用于光学腔面镀膜设备的载具，通过将bar条插入带有凹槽的凹形夹具之间，使bar条的正反面均能够得到蒸镀，提高了蒸镀效率；此外，两个凹形夹具为可拆卸的螺纹连接，也就是凹形夹具之间的空隙大小可变，通过更换不同厚度的垫片，就可对待蒸镀的bar条厚度和数量进行调节，适用范围广。

附图说明：

图1是本实用新型优选实施例中载具与bar条的安装示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1的侧视图；

图4是本实用新型优选实施例中载具的示意图。

其中：1、凹形夹具；11、凹槽；111、侧壁；112、底面；12、螺纹孔；2、垫片；3、bar条；4、支撑片；5、连接孔。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：