[实用新型]一种用于光学腔面镀膜设备的载具有效
| 申请号： | 201920524375.6 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209957885U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 姚文宇;曲迪;白国人;王磊;陈墨;李淼 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许爱文 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 凹形夹具 垫片 两组 蒸镀 本实用新型 半导体激光器 大小可变 镀膜设备 对称连接 方形块体 上端中心 左右两侧 光学腔 正反面 等厚 块体 内插 载具 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于光学腔面镀膜设备的载具，该载具用于安装bar条，其特征在于：包括两个结构相同且对称连接的凹形夹具；所述凹形夹具是具有一定厚度的方形块体；所述块体的上端中心处向下开设有一个长度为d的凹槽；所述bar条的长度为D，D＞d；
两个凹形夹具之间设有空隙；所述空隙内插有两组与空隙等厚的垫片；两组垫片设在所述凹槽的左右两侧；两组垫片之间的距离W大于凹槽的长度d，且W＝D。
2.如权利要求1所述的用于光学腔面镀膜设备的载具，其特征在于：两个所述凹槽的底面之间夹设有与bar条下端形状匹配的支撑片，所述支撑片的上端高于所述凹槽的底面。
3.如权利要求1所述的用于光学腔面镀膜设备的载具，其特征在于：在所述凹形夹具上设有若干螺纹孔；所述螺纹孔均匀分布在凹槽的左右两侧；两个所述凹形夹具螺纹连接。
4.如权利要求1所述的用于光学腔面镀膜设备的载具，其特征在于：所述凹槽的侧壁及底面均为朝向外侧的斜面，且侧壁与底面的连接处采用光滑的圆角过渡。
5.如权利要求1所述的用于光学腔面镀膜设备的载具，其特征在于：所述凹形夹具上端设有与镀膜设备连接用的连接孔。
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