[实用新型]一种简易测量超声波用超声波探头定位工具

说明书

本实用新型涉及半导体制造技术领域。一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，包括一用于支撑在清洗槽槽口上方的支撑件，支撑件上开设有至少两个沿着支撑件长度方向排布的定位孔；还包括用于安装测试探头的安装件，安装件垂直设置，且安装件的顶部开设有螺栓安装孔，安装件以及支撑件通过依次穿过定位孔以及螺栓安装孔的螺栓可拆卸连接；安装件开设有至少两个纵向排布用于安装测试探头的测试探头安装孔。本专利由于尺寸是固定的，避免了不同操作人员测试时导致的位置偏差；通过将测试探头安装在安装件上，避免测量探头碰撞造成损坏的问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及超声波测试用测试探头定位工具。

背景技术

硅片在加工过程中，洗净机设备非常重要，尤其是洗净机中的超声波对颗粒的去除效果显著，定期测试超声功率，有助于判断超声波是否出现异常，避免影响洗净机的清洗能力。

因为测试洗净机槽内超声波功率时，槽内部是有水存在的，且槽体底部的超声波振子是多排并列，使整个槽内都能产生超声作用，所以测试超声功率时不能够只对一个点进行测试，需要取多个测试点，全方位监控槽体内不同位置的超声功率。

目前单纯使用超声波功率测试仪测试时，存在几点弊端：

1、超声波测量仪的测试探头，定位固定效果不佳，容易晃动影响测量读数准确性；

2、测量多点时，没法保证多个测试点之间间距是否合理，且不能保证每次测试时取点都一致，影响长期的数据收集分析；

3、由于槽体底部还有其他部件存在，所以底部并不是完全平整的状态，测试时易发生不必要的碰撞，损坏测试仪器；

4、测试探头定点时花费较长的测量时间。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，已解决上述至少一个技术问题。

本实用新型的技术方案是：一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，其特征在于，包括一用于支撑在清洗槽槽口上方的支撑件，所述支撑件上开设有至少两个沿着支撑件长度方向排布的定位孔；

还包括用于安装测试探头的安装件，所述安装件垂直设置，且所述安装件的顶部开设有螺栓安装孔，所述安装件以及所述支撑件通过依次穿过定位孔以及螺栓安装孔的螺栓可拆卸连接；

所述安装件开设有至少两个纵向排布用于安装测试探头的测试探头安装孔。

本专利由于尺寸是固定的，避免了不同操作人员测试时导致的位置偏差；通过将测试探头安装在安装件上，避免测量探头碰撞造成损坏的问题；极大降低测量时间，提高测量效率。通过支撑件与安装件的可拆卸连接，便于测试完成后，可松开固定螺丝后放置，避免占用过多空间。

进一步优选地，所述支撑件的左右两端设有用于插入清洗槽的侧壁的插口。便于支撑件在清洗槽的槽口上方固定。

进一步优选地，所述支撑件上开设有三个所述定位孔；

所述安装件上开设有三个所述测试探头安装孔。

便于实现九点测试。

进一步优选地，所述安装件的底部设有一配重。便于安装件下垂。

进一步优选地，所述支撑件的左右两端设有向后延伸的延伸部。便于增加与清洗槽的支撑面，提高摆放效果。

进一步优选地，所述支撑件的左右两端设有向后延伸的延伸部，且所述支撑件的左右两端的延伸部中至少一个延伸部上开设有开口朝内的凹槽，所述凹槽的上端以及下端中的至少一端开口，且所述凹槽前后方向的厚度大于所述安装件前后方向的厚度；

以所述螺栓作为所述安装件与所述支撑件转动连接的转轴；