[实用新型]一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵

权利要求书

1.一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，包括泵壳、泵芯组件和加热器，泵芯组件设于泵壳内，加热器设于泵壳底部；其特征在于，加热器内置于泵壳底部，加热器包括多组螺旋状的加热管，各加热管在泵壳底部由中心向外周方向逐渐分布，各加热管的两端从泵壳底部向外伸出外接热源，各加热管的端部外周还设有助焊套，泵壳底部设有助焊环，加热器安装时，助焊套伸入助焊环中并焊接固定。

2.根据权利要求1所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热器中，每组加热管包括一至三圈连续的管体，各组加热管呈独立的螺旋状，相邻两组加热管之间首尾相接。

3.一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，包括泵壳、泵芯组件和加热器，泵芯组件设于泵壳内，加热器设于泵壳底部；其特征在于，加热器内置于泵壳底部，加热器包括多个环状的加热管，各加热管在泵壳底部由中心向外周方向逐渐分布，各加热管的两端从泵壳底部向外伸出外接热源，各加热管的端部外周还设有助焊套，泵壳底部设有助焊环，加热器安装时，助焊套伸入助焊环中并焊接固定。

4.根据权利要求3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热器中，每个加热管均设有两个端部，相邻两个加热管之间端部错开。

5.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热器中还设有呈发散状分布的多个辅助固定块，每个辅助固定块均连接于各加热管之间，各固定块底部设有供加热管嵌入的凹槽。

6.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热管沿水平方向均匀分布于泵壳的底部，加热管的端部弯折后竖直向下，在加热管的端部，加热管、助焊套和助焊环由内向外同心设置。

7.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述加热管为耐高温加热管。

8.根据权利要求1或3所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述泵壳的外壁缠绕有截面呈D形的冷却管，冷却管的平面侧与泵壳外壁相接触。

9.根据权利要求8所述一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵，其特征在于，所述冷却管为铜管。