[实用新型]玻璃基板取片吸盘支架、吸附装置和取片机器人

权利要求书

1.一种玻璃基板取片吸盘支架，其特征在于，包括用于固定安装在取片机械手臂上的支架本体(110)，以及角度可调节地安装在所述支架本体(110)上的空心杆(120)，所述空心杆(120)的两端分别用于连接吸盘(200)和真空源。

2.根据权利要求1所述的取片吸盘支架，其特征在于，所述支架本体(110)包括可拆卸连接的第一本体(111)和第二本体(112)，所述第一本体(111)和所述第二本体(112)相对设置并分别形成有供所述空心杆(120)穿过的安装孔，所述安装孔的孔径大于所述空心杆(120)的外径。

3.根据权利要求2所述的取片吸盘支架，其特征在于，所述第一本体(111)靠近所述吸盘(200)设置，所述第一本体(111)的外壁上设置有与所述空心杆(120)同轴的定位套筒(130)，所述定位套筒(130)的侧壁沿周向开设有多个径向延伸的通孔，多个顶紧件(140)分别穿过对应的所述通孔并抵顶在所述空心杆(120)的外周壁上，所述顶紧件(140)可沿所述定位套筒(130)的径向移动地安装在所述通孔中。

4.根据权利要求3所述的取片吸盘支架，其特征在于，多个所述顶紧件(140)沿周向均匀布设。

5.根据权利要求3所述的取片吸盘支架，其特征在于，所述顶紧件(140)为螺纹紧固件，所述通孔为螺纹孔。

6.根据权利要求2所述的取片吸盘支架，其特征在于，所述第二本体(112)靠近所述真空源设置，所述空心杆(120)通过鱼眼轴承(150)固定安装在所述第二本体(112)上。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的取片吸盘支架，其特征在于，所述空心杆(120)的内部套设有真空管(160)，所述真空管(160)的两端分别与所述吸盘(200)和所述真空源相连。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的取片吸盘支架，其特征在于，所述空心杆(120)的角度调节范围为0°-30°。

9.一种玻璃基板吸附装置，用于安装到取片机械手臂上，包括用于吸附玻璃基板的吸盘(200)和与所述吸盘(200)固定连接的玻璃基板取片吸盘支架，其特征在于，所述玻璃基板取片吸盘支架为根据权利要求1-8中任一项所述的取片吸盘支架。

10.一种玻璃基板取片机器人，包括取片机械手臂和固定安装在所述取片机械手臂上的玻璃基板吸附装置，其特征在于，所述玻璃基板吸附装置为根据权利要求9所述的玻璃基板吸附装置。