[实用新型]多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜

说明书

本实用新型申请公开了一种多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜，包括支撑架、半圈夹具、蜂窝镜体、压电驱动器和接电组件，所述半圈夹具紧固在所述支撑架上，所述蜂窝镜体和所述接电组件分别置于所述半圈夹具前后端圈口内，所述压电驱动器粘接于所述蜂窝镜体背面，所述压电驱动器与所述接电组件电连接，所述半圈夹具由两个半环闭合组成，所述半圈夹具的两个连接端，至少一端为调节端，用于调节对所述蜂窝镜体的夹持力。根据本申请实施例的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜具有结构紧凑、安装方便、形变范围大、形变精度高和形变稳定性好的特点，能提高对非相干空间合成激光系统改善光束质量的能力。

技术领域

本申请涉及激光器及自适应光学器件技术领域，具体涉及一种多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜。

背景技术

固体激光器的输出功率受到热效应、非线性效应、光学元件表面质量等多种因素的影响。将多台激光器的输出光束进行合成可以获得高功率激光输出。光束合成方法主要可以分为三类：相干合成、谱合成和非相干合成。而非相干空间合成是非相干合成的主要方法之一，非相干空间合成就是通过一系列光束整形和变换，将多台激光器发射的激光组合在一起输出。这种合成技术能提高激光输出总功率，但会影响输出的光束质量。应用中，通常会采用自适应光学系统对输出的光束进行修复以改善光束质量。

自适应光学系统的变形镜是非常重要的光学校正器件，其装配方式直接影响到变形镜的变形能力。一般的，用于多光束非相干空间合成的变形镜装配方式主要有镜体边缘紧支撑和局部点支撑。局部点支撑的变形镜结构松散、装配难度大，占用空间较大，且夹持力不可控导致镜体稳定性不高。镜体边缘紧支撑的变形镜有较大的刚度，但由于支撑紧，存在镜体形变受限以及夹持力大导致的镜体易变形等问题。

实用新型内容

为了解决现有多光束非相干空间合成的变形镜在装配过程中夹持力不可控的问题，从而导致的变形镜形变不稳定，光束合成质量差的问题，本申请提供了一种多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜，通过设计夹持力可调的蜂窝镜体的夹具，从而解决该问题。

本申请提供的具体方案如下：

一种多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜，包括支撑架、半圈夹具、蜂窝镜体、压电驱动器和接电组件，所述半圈夹具紧固在所述支撑架上，所述半圈夹具由紧固半环和调节半环闭合构成前端圈口和后端圈口，所述蜂窝镜体由所述半圈夹具夹紧固定在所述前端圈口内，所述接电组件置于所述半圈夹具的后端圈口内，所述半圈夹具的两个连接端，至少一端为调节端，用于调节对所述蜂窝镜体的夹持力；

所述蜂窝镜体形状与所述前端圈口贴合，所述蜂窝镜体背面开有多个蜂窝槽，所述蜂窝槽中部设置有凸台，用于粘接压电驱动器；

所述压电驱动器包括压电陶瓷板、驱动电极和接地电极，所述接地电极和所述驱动电极分别通过丝网印刷技术镀于所述压电陶瓷板两侧，且分别与所述接电组件电连接。

优选地，所述半圈夹具的另一连接端为铰链连接。

更进一步地，系统还包括连接组件，所述连接组件由调节螺钉以及套装在所述调节螺钉外的调节弹簧组成，所述半圈夹具调节端开有闭合通孔，所述闭合通孔一端为沉头孔，另一端为螺纹孔，所述调节螺钉的旋转端置于所述沉头孔内，另一端与所述螺纹孔螺纹扣接。

具体地，所述支撑架包括底板、固定螺钉、弧形卡套和紧固螺栓，所述紧固螺栓位于所述弧形卡套顶部，所述弧形卡套通过所述固定螺钉固装在所述底板上，所述半圈夹具的紧固半环通过所述紧固螺栓紧固在所述弧形卡套内。

具体地，所述弧形卡套由弹性材料制成，所述弧形卡套的开口设置在 90度～180度之间。

具体地，所述压电驱动器经接地电极粘接于所述凸台。

具体地，所述驱动电极包含1个中心区域电极和多个扇形区域电极，所述扇形区域电极均匀间隔分布在所述中心区域电极周围。