[实用新型]透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置有效
| 申请号： | 201920269416.1 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN209991948U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 杨甬英;曹频 | 申请（专利权）人： | 杭州晶耐科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 33200 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310027 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 本实用新型 透明材质 条纹投影系统 深紫外成像 深紫外LED 曲面玻璃 三维轮廓 紫外波段 滤波片 宽谱 窄带 光源 形貌 精密检测装置 三维轮廓重构 准直扩束系统 结构光光源 锯齿状条纹 光栅 成像透镜 横向剪切 扩束镜组 上下表面 形变检测 正弦光栅 紫外光源 紫外CCD 形变 结构光 重构 穿透 混淆 曝光 | ||
1.透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置，其特征在于，该装置包括深紫外条纹投影系统和深紫外成像系统，其中深紫外条纹投影系统包括宽谱深紫外LED光源(S0)、窄带紫外波段滤波片(S1)、准直扩束系统(S2)、一维深紫外横向剪切光栅(S3)及扩束镜组(S5)，且宽谱深紫外LED光源(S0)和窄带紫外波段滤波片(S1)构成紫外光源单元；深紫外成像系统由成像透镜(S7)和深紫外CCD(S8)组成；
深紫外LED光源(S0)发出的宽带光射入窄带紫外波段滤波片(S1)中得到窄带深紫外光，窄带深紫外光通过准直扩束系统(S2)后以平行光入射到一维深紫外横向剪切光栅(S3)上，衍射形成两个波前完全相同但有一定倾角的复制波前，在两复制波前重叠区域形成干涉条纹作为条纹结构光，条纹结构光再通过扩束镜组(S5)形成具有稳定周期的深紫外波段结构光；深紫外波段结构光投射到放有透明材质被测物(S9)的参考平台(S6)上，并利用深紫外成像系统接收经过物体高度调制后的变形条纹图像。
2.根据权利要求1所述的透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置，其特征在于一维深紫外横向剪切光栅(S3)上设置有光栅相移装置(S4)，从而实现对深紫外波段结构光的旋转和移相操作。
3.根据权利要求2所述的透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置，其特征在于所述的一维深紫外横向剪切光栅(S3)，包括一维振幅光栅(G1)和一维相位光栅(G2)；一维振幅光栅(G1)采用一系列微小像元以随机编码的方式使得透过率满足|cos(πx/d)|分布，其中d为一维横向剪切光栅(G3)周期；一维相位光栅(G2)在透明熔石英基底rect(2x/d)*comb(x/d)区域内刻蚀深度满足h＝λ/2(n-1)，使得刻蚀区域光波与未刻蚀区域相位差为π，其中λ为深紫外光源波长，n为熔石英折射率。
4.如权利要求3所述透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置，其特征在于一维深紫外横向剪切光栅(S3)的光栅周期范围为100微米至500微米，对应干涉条纹每毫米线对数为4lp/mm至20lp/mm。
5.如权利要求4所述透明材质三维轮廓重构的深紫外结构光精密检测装置，其特征在于深紫外LED光源(S0)发出的宽带光的中心波长为280nm、带宽为±10nm。
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