[实用新型]一种测试油回收装置有效
| 申请号： | 201920199459.7 | 申请日： | 2019-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN209461422U | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;孙培刚 | 申请（专利权）人： | 安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B01D1/00;B01D1/30;B01D5/00;B01D53/00;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 陈国俊 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆托盘 测试油 出风口 进风口 测试油回收装置 底板 本实用新型 接油管 接油箱 冷凝管 晶圆 蒸发 工作效率 晶圆测试 冷凝装置 蒸发效率 回收 冷凝 出油端 吹风口 排油阀 再利用 风机 滴落 斗型 托架 箱门 油箱 回收率 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试油回收装置，其特征在于：包含箱体，所述箱体设有可供晶圆托盘进出的箱门，所述箱体内设有放置晶圆托盘的托架，箱体的底板呈斗型，底板的最低处设有接油管，接油管连接有接油箱，所述接油箱的底部设有排油阀，所述箱体上设有进风口和出风口，所述晶圆托盘位于进风口和出风口之间，所述进风口与风机的吹风口相连接，所述出风口与冷凝装置的冷凝管相连接，所述冷凝管的出油端接入冷凝油箱中。
2.如权利要求1所述的一种测试油回收装置，其特征在于：所述冷凝装置为玻璃列管式冷凝器，所述冷凝器的冷凝介质为低温冷却水，所述冷凝管为螺旋型冷凝管。
3.如权利要求1所述的一种测试油回收装置，其特征在于：所述进风口设置于箱体的顶部，出风口设置于箱体底板的倾斜面上。
4.如权利要求1所述的一种测试油回收装置，其特征在于：所述箱体内设置冷凝器为YH-KX-2000-18型冷凝器。
5.如权利要求1所述的一种测试油回收装置，其特征在于：所述箱门设置于箱体的侧板上，箱门与箱体之间设有密封圈。
6.如权利要求1所述的一种测试油回收装置，其特征在于：所述箱门上设有可视窗口，所述窗口为玻璃材质，窗口与箱门之间密封处理。
7.如权利要求1所述的一种测试油回收装置，其特征在于：所述托架为托板，所述托板上设有矩阵式排列的滴油孔，或所述托板为筛网结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
