[实用新型]一种CVD镀膜蒸发控制装置

权利要求书

1.一种CVD镀膜蒸发控制装置，包括通过管路依次连接的加热蒸发室、裂解室和沉积室，其特征在于，所述加热蒸发室的输出侧装设有第一压力检测器，裂解室的输出侧装设有第二压力检测器，沉积室上设有第三压力检测器，第一压力检测器、第二压力检测器和第三压力检测器分别与控制器连接，控制器与加热蒸发室的加热设备连接，加热蒸发室还设有温度传感器，该温度传感器与控制器连接。

2.根据权利要求1所述的CVD镀膜蒸发控制装置，其特征在于，所述控制器还连接有报警器。

3.根据权利要求2所述的CVD镀膜蒸发控制装置，其特征在于，所述加热蒸发室与裂解室之间的管路上设有与控制器连接的电磁阀门。

4.根据权利要求3所述的CVD镀膜蒸发控制装置，其特征在于，所述裂解室与沉积室之间的管路上设有与控制器连接的电磁阀门。

5.根据权利要求4所述的CVD镀膜蒸发控制装置，其特征在于，所述控制器还连接有用于显示压力值的压力显示器。

6.根据权利要求5所述的CVD镀膜蒸发控制装置，其特征在于，所述控制器还连接有压力指示灯。