[实用新型]等离子刻蚀机有效
| 申请号： | 201920168082.9 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN209216915U | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张小林;白家均;刘文慧 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/32;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 董亚军 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属挡板 第二电极 工艺气体 刻蚀件 等离子刻蚀机 第一电极 放置台 均匀性 通孔 电极 导管 刻蚀 腔体 半导体技术领域 本实用新型 陶瓷板 | ||
1.一种等离子刻蚀机，其特征在于，所述等离子刻蚀机包括：
腔体；
位于腔体中的两个电极，所述两个电极包括第一电极和第二电极，所述第一电极上设置有待刻蚀件放置台，所述第二电极位于所述待刻蚀件放置台远离所述第一电极的一侧；
金属挡板，所述金属挡板位于所述第二电极和所述待刻蚀件放置台之间，所述金属挡板上设置有多个通孔；
工艺气体导管，所述工艺气体导管的一端位于所述金属挡板和所述第二电极之间。
2.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述腔体被所述金属挡板分割为两个子腔室，所述两个子腔室由所述金属挡板上设置的多个通孔连通。
3.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述金属挡板的表面设置有防腐蚀层。
4.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述工艺气体导管穿过所述第二电极，且所述工艺气体导管的一端朝向所述金属挡板。
5.根据权利要求4所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述金属挡板包括中心区域和围绕所述中心区域的周边区域，所述工艺气体导管的一端在所述金属挡板上的正投影位于所述中心区域中，
所述中心区域中所述通孔的密度小于所述周边区域中所述通孔的密度。
6.根据权利要求4所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述等离子刻蚀机还包括保护板，
所述保护板位于所述第二电极和所述金属挡板之间，所述保护板上设置有导管通孔，所述工艺气体导管的一端与所述导管通孔连通。
7.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述第二电极包括多个子电极，所述多个子电极在所述第一电极上的正投影位于所述第一电极的不同区域。
8.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述金属挡板为一体件。
9.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述第二电极包括耦合线圈。
10.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述第一电极和所述待刻蚀件放置台为一体件。
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