[实用新型]一种芯片自动检测设备有效
申请号: | 201920141110.8 | 申请日: | 2019-01-25 |
公开(公告)号: | CN209656849U | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 彭义青;冼平东;吴述林;王量;李成建 | 申请(专利权)人: | 深圳市泰克光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R31/01 |
代理公司: | 44599 深圳市深可信专利代理有限公司 | 代理人: | 丘杰昌<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 设备支架 自动检测设备 芯片检测 芯片 通孔 芯片检测组件 本实用新型 检测芯片 生产效率 位置调节 芯片承载 芯片探针 多轴 自动化 承载 | ||
1.一种芯片自动检测设备,其特征在于:包括设备支架(1),所述设备支架(1)下方设置有可多轴调节位置并用于承载芯片的芯片承载机构(2),设备支架(1)上方设置有用于检测芯片的芯片检测组件(3),设备支架(1)的中间位置开设有芯片检测通孔,所述芯片检测通孔周围均匀分布有多组芯片探针组件(4)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述芯片承载机构(2)包括底座(21),所述底座(21)上设置有X轴移动模组(22),所述X轴移动模组(22)上设置有Y轴移动模组(23),所述Y轴移动模组(23)上设置有安装台(24),所述安装台(24)上设置有转动齿盘(25)及转动驱动电机(251),所述转动齿盘(25)上设置有支撑座(252)及升降驱动电机(253),所述支撑座(252)内部设置有竖直丝杆(254),所述竖直丝杆(254)上设置有与其配套使用的丝杆螺母(255),所述升降驱动电机(253)用于驱动所述竖直丝杆(254)转动,所述支撑座(252)侧部设置有升降导轨(256),所述升降导轨(256)上设置有升降支撑板(257),所述升降支撑板(257)内侧上部设置有丝杆螺母安装座(258),所述丝杆螺母(255)安装在所述丝杆螺母安装座(258)内部,所述升降支撑板(257)及丝杆螺母安装座(258)的上端面固定设置有芯片承载底板(26),所述芯片承载底板(26)上设置有芯片负压吸板(261)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述转动驱动电机(251)的输出端设置有第一主动同步轮(271),所述第一主动同步轮(271)与转动齿盘(25)之间绕设有第一同步带(272),所述转动驱动电机(251)可通过第一主动同步轮(271)及第一同步带(272)带动转动齿盘(25)转动,所述安装台(24)上设置有配合所述第一同步带(272)的同步带导向轮(273)。
4.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述转动齿盘(25)通过齿盘安装轴(241)及齿盘转动轴承(242)安装在所述安装台(24)上。
5.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述竖直丝杆(254)通过丝杆安装轴承(259)安装在所述支撑座(252)上;所述升降驱动电机(253)的输出端设置有第二主动同步轮(281),所述竖直丝杆(254)的下部设置有第二从动同步轮(282),所述第二主动同步轮(281)与第二从动同步轮(282)之间绕设有第二同步带(283)。
6.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述X轴移动模组(22)包括安装在底座(21)上的X轴导轨(221)、X轴丝杆螺母副(222)及X轴驱动电机(223),所述X轴导轨(221)上设置有X轴移动板(224),所述Y轴移动模组(23)安装在所述X轴移动板(224)上,所述X轴丝杆螺母副(222)的螺母连接到X轴移动板(224)上,所述X轴驱动电机(223)的输出端连接到X轴丝杆螺母副(222)的丝杆一端并可驱动X轴移动板(224)在X轴导轨(221)上移动。
7.根据权利要求6所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述Y轴移动模组(23)包括安装在X轴移动板(224)上的Y轴导轨(231)、Y轴丝杆螺母副(232)及Y轴驱动电机(233),所述Y轴导轨(231)上设置有Y轴移动板(234),所述安装台(24)固定安装在所述Y轴移动板(234)上,所述Y轴丝杆螺母副(232)的螺母连接到Y轴移动板(234)上,所述Y轴驱动电机(233)的输出端连接到Y轴丝杆螺母副(232)的丝杆一端并可驱动Y轴移动板(234)在Y轴导轨(231)上移动。
8.根据权利要求1所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述芯片检测组件(3)包括检测组件安装板(31)及设置在检测组件安装板(31)上的检测组件导轨(32),所述检测组件导轨(32)上设置有滑动安装板(33),所述滑动安装板(33)上安装有检测镜头(34)。
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