[实用新型]一种共面三极性静电吸附装置

说明书

本实用新型涉及一种共面三极性静电吸附装置，其与控制器电连接以产生吸附工件的静电，包括柔性电路板和嵌设在柔性电路板中的电极片组；其特征在于：所述电极片组包括相互交错设置的正极性电极、零电势电极和负极性电极,所述零电势电极具有多个供正极性电极的延伸部从一侧伸入的正面缺口和供负极性电极的延伸部从另一侧伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口间隔交错布置,本实用新型结构简单，使用方便，仅静电装置利用小电压产生较强的静电吸附力，节约了能源，更加安全可靠，而且可以在不影响静电吸附力的情况下，通过增加静电装置表面厚度，使静电装置不易发生电击穿损坏，增加了静电吸附装置使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及静电吸附设备，具体而言是一种共面三极性静电吸附装置。

背景技术

现有机静电吸附装置中，静电吸附阵列结构采用的单极性、梳状双极性阵列结构。单极性阵列需要一定外界条件（被吸物体侧有等离子体存在）才能达到吸附效果，对于一些容易发生电击穿的物体则不适用；梳状双极性阵列两电极共面产生电场将介质层极化，由于吸附作用距离小，因此静电装置表面介质层厚度一般比较薄，很容易发生损坏。而且无论是单极性还是梳状双极性阵列的静电吸附装置要实现很好的吸附效果，最好的实现办法是提高加载电压，由于介质层比较薄则很容易发生电击穿使其使用寿命短。

因此，现在静电吸附装置急需一种通过较小的电压产生较强的静电吸附力，并且通过增加静电吸附装置的厚度使之不易损坏增加其寿命的装置，三极性静电吸附阵列排布结构就根据这一需求提出的。

实用新型内容

为克服上述现有技术中存在的不足，本实用新型提供了一种结构简单，使用电压小且使用寿命长的的三极性静电吸附阵列排布结构。

本实用新型的一种共面三极性静电吸附装置，包括其与控制器电连接以产生吸附工件的静电，包括柔性电路板和嵌设在柔性电路板中的电极片组；所述电极片组包括相互交错设置的正极性电极、零电势电极和负极性电极。

上述技术方案还可以通过以下技术措施进一步优化：

作为进一步优化，所述零电势电极具有多个供正极性电极的延伸部从一侧伸入的正面缺口和供负极性电极的延伸部从另一侧伸入的反面缺口，正面缺口和反面缺口间隔交错布置。

作为进一步优化，所述零电势电极为连续的“n”字形金属极片，所述正极性电极和负极性电极均为连续的“E”字形金属极片。

作为进一步优化，所述零电势电极和正极性电极之间的电气间隙等于零电势电极和负极性电极之间的电气间隙，且各处的电气间隙的宽度相同。

作为进一步优化，所述柔性电路板固定设置在刚性支撑体上。

作为进一步优化，所述柔性电路板中嵌设有阵列排布的多组电极片组。

由于采用了以上技术方案，本实用新型产生了以下技术效果：

本发明的有益效果是，不仅静电装置利用小电压产生较强的静电吸附力，节约了能源，更加安全可靠，而且可以不影响静电吸附力的情况下，通过增加静电装置表面厚度，使静电装置不易发生电击穿损坏，增加了静电吸附装置使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍：

图1是实施例一中的三极性静电吸附阵列排布结构的结构示意图。

图2是图1中“A-A”方向的结构示意图。

附图标记说明：

1.电极片组；2.柔性电路板；3.刚性支撑体；101.正极性电极；102.零电势电极；103.负极性电极。

具体实施方式