[发明专利]蒸发源的冷却装置及蒸发源

说明书

本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源的冷却装置及蒸发源。该蒸发源的冷却装置包括冷却箱，冷却箱设置有多个彼此独立的冷却槽，冷却槽用于装配坩埚；冷却组件，冷却箱的各个侧壁及底壁均设置有冷却组件，冷却组件设置成冷却冷却箱。本发明所提供的蒸发源的冷却装置及蒸发源能够对材料进行均匀降温。

技术领域

本发明涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源的冷却装置及蒸发源。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，即有机电致发光器件)显示技术日益完善，其市场化普及成为了趋势。构成有机电致发光器件的各膜层一般通过真空蒸发镀膜形成，真空蒸发镀膜的基本原理是将镀膜材料放置于蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发，形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到待镀膜基板上形成膜层。

现有的蒸镀装置的蒸发源虽然能够进行有机电致发光器件的制作，但是，为了满足有机电致发光器件(OLED)的高分辨率显示及大尺寸设计等需求，需要同时对多种有机材料进行蒸镀，从而提高应用于大面积玻璃的镀膜工艺的效率，但是现有蒸发源的冷却部件与冷却箱为一体结构，当冷却部件出现损坏时，需更换整个冷却设备，提高了成本。

发明内容

本发明提供了一种蒸发源的冷却装置及蒸发源，该蒸发源的冷却装置及蒸发源能够对材料进行均匀降温。

本发明的第一方面提供了一种蒸发源的冷却装置，包括：

冷却箱，所述冷却箱设置有多个彼此独立的冷却槽，所述冷却槽用于装配坩埚；

冷却组件，所述冷却箱的各个侧壁及底壁均设置有所述冷却组件，所述冷却组件设置成冷却所述冷却箱。

进一步的，所述冷却组件包括：

侧壁冷却管网，所述冷却箱的各个侧壁设置有所述侧壁冷却管网；

底壁冷却管网，所述底壁设置有所述底壁冷却管网。

进一步的，所述侧壁冷却管网和所述底壁冷却管网均包括出液管、进液管和多个第一支管；

所述出液管通过各个所述第一支管与所述进液管连通，其中，各个所述第一支管的设置方向相同。

进一步的，所述侧壁冷却管网和所述底壁冷却管网均还包括多个第二支管，各个所述第二支管的设置方向相同；

所述第一支管与所述第二支管交错设置，且两者彼此连通。

进一步的，所述第一支管沿水平方向设置(X)，所述第二支管沿竖直方向设置(Y)。

进一步的，相邻的所述冷却槽之间设置有隔热板。

进一步的，所述冷却箱包括：

箱体，所述箱体设置有多个彼此独立的所述冷却槽，所述箱体的各个侧壁及底壁均设置有所述冷却组件；

多个冷却内套，所述冷却内套一一对应设置于所述冷却槽内，所述冷却组件设置成冷却所述箱体与所述冷却内套。

进一步的，所述冷却内套为金属材料制成。

本发明的第二方面提供了一种蒸发源，包括上述所述的蒸发源的冷却装置。

进一步的，还包括；

盖板，所述盖板可拆卸连接于坩埚上；

喷嘴，所述喷嘴设置于所述盖板上，且所述喷嘴与所述坩埚连通；

第一板体，所述第一板体设置于所述冷却箱的上端面，并设置成固定及密封所述盖板。

本发明提供的技术方案可以达到以下有益效果：