[发明专利]蒸发源的冷却装置及蒸发源在审
| 申请号： | 201911411432.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113122807A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 轩景泉;林文晶;钱海涛;赵军;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 冯伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 冷却 装置 | ||
1.一种蒸发源的冷却装置，其特征在于，包括：
冷却箱(1)，所述冷却箱(1)设置有多个彼此独立的冷却槽(111)，所述冷却槽(111)用于装配坩埚(5)；
冷却组件(2)，所述冷却箱(1)的各个侧壁及底壁均设置有所述冷却组件(2)，所述冷却组件(2)设置成冷却所述冷却箱(1)。
2.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却组件(2)包括：
侧壁冷却管网(21)，所述冷却箱(1)的各个侧壁设置有所述侧壁冷却管网(21)；
底壁冷却管网(22)，所述底壁设置有所述底壁冷却管网(22)。
3.根据权利要求2所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述侧壁冷却管网(21)和所述底壁冷却管网(22)均包括出液管(211)、进液管(212)和多个第一支管(213)；
所述出液管(211)通过各个所述第一支管(213)与所述进液管(212)连通，其中，各个所述第一支管(213)的设置方向相同。
4.根据权利要求3所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述侧壁冷却管网(21)和所述底壁冷却管网(22)均还包括多个第二支管(214)，各个所述第二支管(214)的设置方向相同；
所述第一支管(213)与所述第二支管(214)交错设置，且两者彼此连通。
5.根据权利要求4所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述第一支管(213)沿水平方向设置(X)，所述第二支管(214)沿竖直方向设置(Y)。
6.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，相邻的所述冷却槽(111)之间设置有隔热板。
7.根据权利要求1所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却箱(1)包括：
箱体(11)，所述箱体(11)设置有多个彼此独立的所述冷却槽(111)，所述箱体(11)的各个侧壁及底壁均设置有所述冷却组件(2)；
多个冷却内套(12)，所述冷却内套(12)一一对应设置于所述冷却槽(111)内，所述冷却组件(2)设置成冷却所述箱体(11)与所述冷却内套(12)。
8.根据权利要求7所述的蒸发源的冷却装置，其特征在于，所述冷却内套(12)为金属材料制成。
9.一种蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的蒸发源的冷却装置。
10.根据权利要求9所述的蒸发源，其特征在于，还包括；
盖板(3)，所述盖板(3)可拆卸连接于坩埚(5)上；
喷嘴(4)，所述喷嘴(4)设置于所述盖板(3)上，且所述喷嘴(4)与所述坩埚(5)连通；
第一板体，所述第一板体设置于所述冷却箱(1)的上端面，并设置成固定及密封所述盖板(3)。
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