[发明专利]移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组

说明书

一种移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组，其中，移动单元包括：固定平台；多个相间隔的固定电极，位于所述固定平台上；可动极板，悬空设置于所述固定平台上方；多组相间隔的位移模块，位于所述可动极板朝向所述固定电极的面上，所述位移模块与所述固定电极一一对应，所述位移模块包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极，所述位移模块中预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个。本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，有利于实现对被移动部件的位移的精确控制；而且，本发明提供的移动单元适用于半导体工艺制造，还有利于实现批量化生产、较低成本和较高的集成度。

技术领域

本发明涉及光电成像领域，尤其涉及一种移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组。

背景技术

在一些电子终端中，通常会需要让其中的某些部件发生平移、竖直移动或者倾斜，进而实现某些特殊功能，例如：实现光学防抖。

光学防抖是依靠特殊的镜头或者感光元件最大程度的降低操作者在使用过程中由于抖动或者物体发生移动造成影像不稳定。目前一种光学防抖技术通常是在镜头内的陀螺仪侦测到微小的移动，并且会将信号传至微处理器立即计算需要补偿的位移量，然后通过补偿镜片组，根据抖动方向及位移量加以补偿，从而有效的克服因相机的振动产生的影像模糊。

还有一些光学防抖技术是在一些具有镜头模组的摄像机、照相机和手机等各种电子终端中，通常会通过VCM马达(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈马达)等驱动机构来使得可移动透镜在光轴方向上位移以聚焦或变焦，或者，在垂直于光轴方向的方向上位移以防止光学抖动。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组，提高移动单元的行程和移动精度。

为解决上述问题，本发明提供一种移动单元，包括：固定平台；多个相间隔的固定电极，位于所述固定平台上；可动极板，悬空设置于所述固定平台上方；多组相间隔的位移模块，位于所述可动极板朝向所述固定电极的面上，所述位移模块与所述固定电极一一对应，所述位移模块包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极，所述位移模块中沿所述预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个。

可选的，所述位移模块中的所述控制电极等间距排列。

可选的，所述位移模块中，所述控制电极沿所述预设移动方向的间距小于5微米。

可选的，沿预设移动方向上，所述控制电极的尺寸与所述固定电极的尺寸相等。

可选的，沿预设移动方向上，所述固定电极的尺寸小于10微米；沿所述预设移动方向上，所述控制电极的尺寸小于10微米。

可选的，所述位移模块间的间隔等于所述位移模块中所述控制电极间的间隔。

可选的，在垂直于所述固定平台表面的方向上，所述控制电极的底面至所述固定电极的顶面的距离小于5微米。

可选的，所述固定电极间的间距等于所述位移模块间的间距。

可选的，所述移动单元还包括：围壁结构，位于所述可动极板侧部的所述固定平台上；顶部限位结构，位于所述围壁结构的顶部，且悬空延伸至所述可动极板的部分区域上，所述围壁结构、顶部限位结构与所述固定平台围成空腔；所述固定电极、可动极板以及位移模块位于所述空腔中。

可选的，所述移动单元还包括：第一电极引脚，位于所述顶部限位结构的顶部；所述移动单元还包括：可伸缩的第一导线，所述第一导线的一端与所述第一电极引脚相连，所述第一导线的另一端与所述位移模块相连。

可选的，所述第一导线为弹簧状导线。