[发明专利]具有气密空腔的微机电装置

说明书

本发明公开一种具有气密空腔的微机电装置，其中该微机电装置包括一基板、一固定电极、一可动电极及一加热器。基板包含一上表面、一内底面及一内侧面。内侧面环绕且连接内底面。内侧面及内底面定义一凹槽。固定电极设置于内底面。可动电极覆盖凹槽。可动电极、内底面及内侧面定义一气密空腔。加热器位于可动电极上且位于气密空腔上方。

技术领域

本发明涉及一种具有气密空腔的微机电装置，适用于感测环境中的气体的浓度、气压、湿度及温度。

背景技术

以往，在有感测环境状态的需求时，会分别使用感测环境的装置(例如:温度计、湿度计)来进行感测。未来，可将不同感测功能的传感器整合在智能型手机或家庭中的智能家电等智能型电子装置。因此，相关领域的业者发展出可感测环境的微机电装置，并将此种微机电装置整合于智能型电子装置中。当使用者或智能家庭的控制主机需要取得智能型电子装置的环境状态时，便能控制此种可感测环境的微机电装置进行环境状态的感测。

然而，感测环境的微机电装置，其精确度易受各种环境条件影响。以测量气压用的微机电装置为例，其通常会在基板内设置间隔有距离的两电极。当外部压力有所变化时，两电极的距离会有所变化，通过测量两电极的距离而推算外部压力值。然而，通过上述方式测量的压力值，容易受到周遭环境温度的波动影响而产生误差。

发明内容

本发明提出一种具气密空腔的微机电装置，通过将测量气压用的组件加热至特定的工作温度，使测量气压用的组件的温度稳定，进而提升测量气压用的组件所测量到的压力值的稳定度与准确度。

本发明的一实施例提出一种微机电装置，包括一基板、一固定电极、一可动电极及一加热器。基板包含一上表面、一内底面及一内侧面。内侧面环绕且连接内底面。内侧面及内底面定义一凹槽。固定电极设置于内底面。可动电极覆盖凹槽。可动电极、内底面及内侧面定义一气密空腔。加热器设置于可动电极上且位于气密空腔上方。

本发明的另一实施例提出一种微机电装置，包括一基板、一气压传感器、一气体传感器及一温度传感器。基板包含一上表面、一内底面及一内侧面。内侧面环绕且连接内底面。内侧面及内底面定义一凹槽。气压传感器设置于凹槽。气压传感器包含一固定电极及一可动电极。固定电极设置于内底面。可动电极覆盖凹槽。可动电极、内底面及内侧面定义一气密空腔。气体传感器设置于气压传感器上。气体传感器包含一加热器、一电性绝缘层、一感应电极及一感应材料层。加热器设置于可动电极上且位于气密空腔上方。电性绝缘层设置于加热器与可动电极之间。感应电极设置于加热器上方且与加热器电性绝缘。感应材料层覆盖感应电极。温度传感器设置于气压传感器上。温度传感器设置于可动电极上且位于气密空腔上方，电性绝缘层设置于温度传感器与可动电极之间。

根据本发明的一实施例的微机电装置，利用可动电极与固定电极测量气压。在测量气压时，通过加热器将可动电极与固定电极加热至特定温度，使其温度稳定，进而提升所测量到的压力值的稳定度与准确度。

以上的关于本发明内容的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明的一实施例的微机电装置的立体示意图；

图2为图1的微机电装置沿A－A线剖面的立体剖面示意图；

图3为图1的微机电装置沿A－A线剖面的侧视剖面示意图；

图4为图1的微机电装置的立体分解示意图；

图5为本发明的另一实施例的微机电装置的立体示意图。

符号说明

1、2微机电装置

10、20基板

10a、20a凹槽

10b、20b气密空腔