[发明专利]一种石墨舟饱和的工艺方法

说明书

本发明公开一种石墨舟饱和的工艺方法，包括如下步骤：1）将石墨舟送进炉管；2）抽真空，通入氮气15slm，温度升至420℃；3）抽真空，通入氮气15slm，时间300秒，再抽真空，重复三次后恢复真空；4）通入氨气5slm，温度控制在450 460℃，预沉积300秒；5）抽真空，通入硅烷和甲烷，持续放电5000‑11000秒；6）抽真空，通入硅烷和氨气，持续放电200秒；7）停止通气，抽真空，至压力达到30mTorr时，通入氮气15slm，再抽真空，重复两次后恢复；8）卸舟。采用本发明的方法，石墨舟镀碳化硅和氮化硅的叠加层，石墨舟舟片更加致密平整具有优良的导热性能和电场的均匀性，使得工艺过程中的电池片膜色更加均匀一致，对电池片返工率和良率提升有明显增益。

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种石墨舟饱和的工艺方法。

背景技术

目前，晶硅太阳能电池对膜色要求越来越高，生产工艺过程中由于石墨舟饱和不充分或饱和的材料性能限制，使得石墨舟在寿命周期内电池片镀膜颜色发生变化，通常采用修正工艺来补偿其影响。

现有的石墨舟饱和方法是采用插石墨假片或硅片，在石墨舟内壁上沉积一层氮化硅膜，从而使内壁各处均呈氮化硅状态，这样使得工艺过程中石墨舟内部各处氮化硅沉积速率趋于一致。

氮化硅饱和石墨舟的原理：

利用低温等离子体作能量源，加热使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体（硅烷和氨气），气体在射频激励下形成等离子体，在硅片表面沉积成氮化硅层。

SiH4+NH3→SixNyHz+H2↑

目前石墨舟饱和方式，硅片镀膜膜色均匀性相对较差，导致部分硅片偏红或偏白，电池片色差返工率和外观良率造成一定负面影响。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：目前石墨舟饱和方式，硅片镀膜膜色均匀性相对较差，导致部分硅片偏红或偏白的问题。

本发明解决该技术问题采用的技术方案是：

一种石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：包括以下步骤；

步骤一，使用氮化硅桨将空石墨舟送进石英炉管；

步骤二，抽真空，通入流量为15标准升每分钟的氮气，所有温区温度升至420摄氏度；

步骤三，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为15标准升每分钟的氮气，时间300秒，再抽真空，本步骤重复三次；

步骤四，通入流量为5标准升每分钟的氨气，使炉管内压力稳定在1700毫托，温度控制在450至460摄氏度，放电功率3600瓦，预清洗300秒；

步骤五，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为600至700标准毫升每分钟的硅烷，通入流量为6.5标准升每分钟的甲烷，压力稳定在1500毫托，放电功率6500瓦，持续放电5000至11000秒；

步骤六，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为850至950标准毫升每分钟的硅烷，通入流量为7.8标准升每分钟的氨气，放电功率7500瓦，持续放电200秒；

步骤七，停止通气，抽真空，至压力达到毫托时，通入流量为15标准升每分钟的氮气，再抽真空，本步骤重复二次；

步骤八，卸舟。

作为优选，所述步骤四中，放电过程的脉冲开关比例为6:12至6:18。

作为优选，所述步骤五中，放电过程的脉冲开关比例为5:70至5:80。