[发明专利]真空泵装置

说明书

本发明提供一种真空泵装置，能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启。真空泵装置(1)具备：彼此相对配置并且是罗茨转子或者爪式转子的一对泵转子；固定有一对泵转子并且沿铅垂方向延伸的一对轴(8)；使一对泵转子旋转的电动机(10)；固定于一对轴(8)并且彼此啮合的一对定时齿轮(25)；配置于一对泵转子的上方的固定侧轴承；以及支承轴(8)的自由侧轴承。

技术领域

本发明涉及一种真空泵装置。

背景技术

已知一种用于半导体制造和/或有机EL、液晶等平板制造的真空泵(例如，生产废气的排气用的真空泵、高排气速度真空泵等)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实开平6-53793号公报

近年，在半导体制造和/或平板制造中，伴随半导体的高性能化和/或面板的大型化，导入处理室内的生产废气的流量增加，但是在这样的现状下，也需要将处理室内的压力保持为某种恒定的压力。

鉴于上述的必要性，作为排出生产废气的真空泵，需要排气速度较高的真空泵，真空泵的尺寸也大型化。然而，由于真空泵的大型化，半导体制造工厂和/或平板制造工厂中的真空泵装置的设置空间增加，从而设置空间的确保成为问题。

为了减小设置空间，考虑采用竖直配置的真空泵装置。然而，如专利文献1所述，当将固定侧轴承相对于泵转子配置于下侧时，由于排出的气体的冷凝而生成的固体物附着/堆积于泵转子和泵壳体的间隙，进而，在泵停止时，真空泵装置温度下降，从而泵转子对上述固体物进行过度压缩，其结果是，阻碍了泵转子的旋转，真空泵装置有可能无法重新启动。

发明内容

因此，本发明提供一种能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启的真空泵装置。

在一方式中，提供一种真空泵装置，具备：一对泵转子，该一对泵转子彼此相对配置，并且是罗茨转子(日文：ルーツロータ)或者爪式转子(日文：クローロータ)；一对轴，该一对轴固定有所述一对泵转子，并且沿铅垂方向延伸；电动机，该电动机使所述一对泵转子旋转；一对定时齿轮，该一对所述定时齿轮固定于所述一对轴，并且彼此啮合；固定侧轴承，该固定侧轴承配置于所述一对泵转子的上方；以及自由侧轴承，该自由侧轴承和所述固定侧轴承一起支持所述轴。

在一方式中，所述电动机配置于所述一对泵转子的上方。

在一方式中，所述真空泵装置具备与所述电动机电连接的运转控制装置，所述运转控制装置在使所述真空泵装置的运转完全停止之前，通过反复进行所述电动机的启动和停止来执行所述泵转子的旋转和停止动作。

在一方式中，所述运转控制装置以规定的时间间隔反复进行所述电动机的启动和停止。

一方式中，具备：泵壳体，该泵壳体收容有所述一对泵转子；以及温度传感器，该温度传感器安装于所述泵壳体的外表面，所述运转控制装置基于由所述温度传感器测定出的所述泵壳体的温度变化，反复进行所述电动机的启动和停止。

在使竖直配置的真空泵装置的运转停止的情况下，轴由于其温度下降而以配置于泵转子的上方的固定侧轴承为基准向上收缩。因此，泵转子的下表面与泵壳体之间的横向间隙变大，泵转子不会压溃固体物。其结果是，不会阻碍真空泵装置的重启。

附图说明

图1是示出了真空泵装置的一实施方式的剖视图。

图2是示出了轴承装置的一实施方式的剖视图。

图3是示出了在轴承装置的内部循环的润滑油的图。

图4是示出了旋转圆筒的立体图。

图5是旋转圆筒的放大图。

图6是托盘的放大图。