[发明专利]真空泵装置

权利要求书

1.一种真空泵装置，所述真空泵装置竖直配置，其特征在于，具备：

一对泵转子，该一对泵转子彼此相对配置，并且是罗茨转子或者爪式转子；

一对轴，该一对轴固定有所述一对泵转子，并且沿铅垂方向延伸；

电动机，该电动机使所述一对泵转子旋转；

一对定时齿轮，该一对定时齿轮固定于所述一对轴，并且彼此啮合；

固定侧轴承，该固定侧轴承配置于所述一对泵转子的上方，并且，所述固定侧轴承向所述一对轴的轴线方向的移动被限制；

自由侧轴承，该自由侧轴承和所述固定侧轴承一起支持所述轴，所述自由侧轴承能够向所述一对轴的轴线方向移动，且被配置在所述一对泵转子的下方；以及

泵壳体，该泵壳体收容所述一对泵转子，

所述泵壳体使固体物堆积于所述一对泵转子的下表面与所述泵壳体之间的横向间隙。

2.如权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，

所述电动机配置于所述一对泵转子的上方。

3.如权利要求1或2所述的真空泵装置，其特征在于，

所述真空泵装置具备与所述电动机电连接的运转控制装置，

所述运转控制装置在使所述真空泵装置的运转完全停止之前，通过反复进行所述电动机的启动和停止来执行所述泵转子的旋转和停止动作。

4.如权利要求3所述的真空泵装置，其特征在于，

所述运转控制装置以规定的时间间隔反复进行所述电动机的启动和停止。

5.如权利要求3所述的真空泵装置，其特征在于，

所述真空泵装置具备：

温度传感器，该温度传感器安装于所述泵壳体的外表面，

所述运转控制装置基于由所述温度传感器测定出的所述泵壳体的温度变化，反复进行所述电动机的启动和停止。