[发明专利]一种用于半导体制造设备的钟摆阀

说明书

本发明提供了一种用于半导体制造设备的钟摆阀，涉及半导体制造设备领域。包括：阀门本体；用于调节气体通道的振子板，在第一驱动电机的带动下进行转动；密封板，设置在振子板的上侧，并在密封结构的带动下在贴紧和释放振子板的两个状态之间移动；密封结构包括：圆环本体，在其圆周方向设置有多个贯通的移动槽，每一移动槽内设有向旋转方向延伸形成的倾斜面；轴辅材，一端与密封板固定，另一端为卡接于倾斜面的卡头，沿着倾斜面升降；弹性辅材，设置于卡头的上侧；第二驱动电机传动轴与原动体连接；圆环本体和原动体之间具有用原动体的动力旋转圆环本体的动力传达部。本发明能够提高反应室与泵之间的可靠密封，提高密封动作的响应速度。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种用于半导体制造设备的钟摆阀。

背景技术

一般在半导体元件的制造工程中，为了给真空反应室等需要真空的空间达到真空状态，需要连接真空泵去抽吸反应室内的空气。在连接上述反应室与真空泵的连接管上安装钟摆阀，从而开关连接管，控制真空泵的抽吸状态。

如图1所示，现有半导体设备用钟摆阀主要是由安装在连接反应室(未图示)与真空泵(未图示)的连接管(未图示)上的阀门本体1与，安装在阀门本体1内部做振子运动，开关上述连接管的振子板2与，驱动振子板2并能正、逆回转的驱动电机3与，贴紧上述振子板2为了从真空泵侧密封连接管，位于真空泵侧的密封板4与，使密封板4与振子板2紧贴的由空气压动作的汽缸5组成。

上述现有半导体设备用钟摆锤由驱动电机3的正、逆旋转使振子板2向左、右进行圆弧运动开关阀门调节气体量。结束调节气体量的工程后，为了将阀门完全封闭在振子板2将连接管关闭时，由空气压动作的汽缸5将密封板4向振子板2侧贴紧。

但是，振子板2在反应室与泵之间的压力比动密封板4的空气压更大时，密封板4无法移动，存在不能密封连接管的问题。而且用空气压移动密封板4，有所需动作时间较长，信赖性下降等问题点。

发明内容

本发明的一个目的是要提供一种用于半导体制造设备的钟摆阀，提高反应室与泵之间的可靠密封，提高密封动作的响应速度。

特别地，本发明提供了一种用于半导体制造设备的钟摆阀，包括：

阀门本体，其两端分别连通反应室和真空泵；

振子板，其面积覆盖所述阀门本体内部的气体通道，并在第一驱动电机的带动下进行转动，从而调节所述气体通道的大小；

密封板，其设置在所述振子板的上侧，并在密封结构的带动下在贴紧和释放所述振子板的两个状态之间移动；

所述密封结构包括：

圆环本体，在其圆周方向设置有多个贯通的移动槽，每一所述移动槽内设有向旋转方向延伸形成的倾斜面；

轴辅材，其设置于所述移动槽内，其一端与所述密封板固定，其另一端为卡接于所述倾斜面的卡头，沿着所述倾斜面升降；

弹性辅材，其设置于所述卡头的上侧；

第二驱动电机，其传动轴与原动体连接；

其中，所述圆环本体和所述原动体之间具有用所述原动体的动力旋转所述圆环本体的动力传达部。

优选的，所述动力传达部为所述圆环本体和所述原动体相啮合的齿轮组。

优选的，所述动力传达部为所述圆环本体和所述原动体之间的传动带。

优选的，所述倾斜面由两个对称的限位块构成，所述限位块具有向旋转方向延伸并倾斜的台阶坡面，两个限位块的台阶坡面之间具有空隙以容纳所述轴辅材，两个限位块的台阶坡面支撑着所述轴辅材的卡头。