[发明专利]一种多层级立式石英舟及其加工工艺在审
申请号: | 201911331278.6 | 申请日: | 2019-12-21 |
公开(公告)号: | CN111106049A | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 张忠恕;王连连;赵鹤;陈强;于洋;冯继瑶;张娟;边占宁;孙云涛;李宝军;张连兴;王建立 | 申请(专利权)人: | 张忠恕 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C03C15/02 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多层 立式 石英 及其 加工 工艺 | ||
本发明公开一种多层级立式石英舟及其加工工艺,包括上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉,所述所述上端板与下端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒,所述上开槽棒、下开槽棒外围固定焊接有固定柱与上端板与下端板固定焊接,所述上开槽棒、下开槽棒内设置有第一环片、第二环片,所述第一环片、第二环片上通过粘接固定连接有第一石英钉、第二石英钉。
技术领域
本发明涉及石英技术领域,尤其涉及一种多层级立式石英舟及其加工工艺。
背景技术
现有的石英焊接件均为整体塑造成型结构,透明度差,原有的石英通过组成反应腔室,反射差,热源扩散快,不能对整体进行保温处理,为此本申请人根据现有工艺进行改进对单件芯片做处理,自成腔室,周围高温加热电热器,节省空间,面积小,区别于大型炉管,单片反应,发生问题时损失小,及时处理,其次通过所使用的石英焊接属于对接焊,两种不同材质所产生的变形影响整体的外观及尺寸要求,长期使用存在炸裂的风险。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多层级立式石英舟及其加工工艺,以解决上述背景技术中提出的问题。
本发明的目的是通过下述技术方案予以实现:一种多层级立式石英舟,包括上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉,所述所述上端板与下端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒,所述上开槽棒、下开槽棒外围固定焊接有固定柱与上端板与下端板固定焊接,所述上开槽棒、下开槽棒内设置有第一环片、第二环片,所述第一环片、第二环片上通过粘接固定连接有第一石英钉、第二石英钉。
进一步地,所述第一环片、第二环片结构相同,且在第一环片上固定对称粘接有第一石英钉,所述第二环片上固定对称粘接有第二石英钉,所述第一石英钉长度小于第二石英钉长度1mm。
进一步地,位于所述上开槽棒所在位置的左右对称开有两个上圆弧槽,位于所述下开槽棒所在位置开有一个下圆弧槽,所述上下圆弧槽大小相同,且位于下圆弧槽与上圆弧槽之间左右对称开有小弧槽。
进一步地,所述上端板、下端板上的上、下、左象限点位置均开有圆弧,所述上、下象限点位置的圆弧向外,左象限点位置开有的圆弧向内。
进一步地,所述下端板上开有内口,所述内口上下象限点位置固定对称开有弧口,所述弧口角度100度;
所述下端板上弧口边沿固定设有3个带有半圆的弧形平台阶槽;
所述下端板上内口边沿位于下象限点位置的弧口与弧形平台阶槽之间固定开有呈坡角的弧形坡角台阶槽,所述坡角为20度。
进一步地,所述上开槽棒、下开槽棒上开有若干大小相同凹槽,且上开槽棒宽度大于下开槽棒宽度。
一种多层级立式石英舟的加工工艺,包括如下加工步骤:
1)第一环片、第二环片经过氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗,激光切割,充分退火,恒温120分钟,
2)磨削厚度,尖角倒钝C\R0.5,氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗;
3)火抛环片内外侧面区域,充分退火,恒温120分钟;通过冷抛机进行双面冷抛;
4)氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗,粘钉前将钉抛亮,整体火抛,充分退火,恒温120分钟,氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗,备用;
5)磨削第一石英钉、第二石英钉,经过氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗,充分退火,恒温120分钟,氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗,备用
6)磨削上端板、下端板两侧平面,厚度保证尺寸,经过氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗,整体火抛,充分退火,恒温120分钟,氢氟酸浸泡1-2小时,纯水冲洗,备用;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造