[发明专利]一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备有效

专利信息
申请号: 201911311738.9 申请日: 2019-12-18
公开(公告)号: CN110970332B 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 陈家辉 申请(专利权)人: 深圳市凯新达电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66;G01N21/95
代理公司: 深圳众邦专利代理有限公司 44545 代理人: 王金刚
地址: 518000 广东省深圳市南山区西丽*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 二氧化硅 矿石 原料 集成电路 晶片 检测 设备
【权利要求书】:

1.一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,包括传送带(1),其特征在于:所述传送带(1)的表面固定连接有支撑架(2),支撑架(2)的表面固定连接有镜头(3),支撑架(2)的内部活动连接有扇叶(4),扇叶(4)的表面固定连接有转轴(5),支撑架(2)的内部且位于扇叶(4)远离转轴(5)的一侧固定连接有检测机构(6);

所述检测机构(6)包括滑动体(7),滑动体(7)的内部滑动连接有阻隔块(8),阻隔块(8)的表面固定连接有通气管(9),通气管(9)远离阻隔块(8)的一端固定连接有分流管(10),分流管(10)远离通气管(9)的一端固定连接有弹性杆(11);

分布在支撑架(2)上部和下部的检测机构(6)喷出同样均匀度的气流,所述传送带(1)的表面且位于检测机构(6)的两侧均开设有落入口(15),若晶体表面有崩边的现象,则会导致其受力不均匀,而向一边偏移,最终从落入口(15)掉落下来。

2.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述弹性杆(11)的表面套接有轴套(12),轴套(12)的表面开设有气孔(13)。

3.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述转轴(5)的表面套接有滚轮(14)。

4.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述扇叶(4)处于滚轮(14)的中心位置。

5.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述检测机构(6)分布在支撑架(2)的两侧。

6.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述分流管(10)的数量是三个,弹性杆(11)的数量也是三个。

7.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述分流管(10)与弹性杆(11)两两相互配合。

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