[发明专利]一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备有效
申请号: | 201911311738.9 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN110970332B | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 陈家辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市凯新达电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/66;G01N21/95 |
代理公司: | 深圳众邦专利代理有限公司 44545 | 代理人: | 王金刚 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西丽*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二氧化硅 矿石 原料 集成电路 晶片 检测 设备 | ||
1.一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,包括传送带(1),其特征在于:所述传送带(1)的表面固定连接有支撑架(2),支撑架(2)的表面固定连接有镜头(3),支撑架(2)的内部活动连接有扇叶(4),扇叶(4)的表面固定连接有转轴(5),支撑架(2)的内部且位于扇叶(4)远离转轴(5)的一侧固定连接有检测机构(6);
所述检测机构(6)包括滑动体(7),滑动体(7)的内部滑动连接有阻隔块(8),阻隔块(8)的表面固定连接有通气管(9),通气管(9)远离阻隔块(8)的一端固定连接有分流管(10),分流管(10)远离通气管(9)的一端固定连接有弹性杆(11);
分布在支撑架(2)上部和下部的检测机构(6)喷出同样均匀度的气流,所述传送带(1)的表面且位于检测机构(6)的两侧均开设有落入口(15),若晶体表面有崩边的现象,则会导致其受力不均匀,而向一边偏移,最终从落入口(15)掉落下来。
2.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述弹性杆(11)的表面套接有轴套(12),轴套(12)的表面开设有气孔(13)。
3.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述转轴(5)的表面套接有滚轮(14)。
4.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述扇叶(4)处于滚轮(14)的中心位置。
5.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述检测机构(6)分布在支撑架(2)的两侧。
6.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述分流管(10)的数量是三个,弹性杆(11)的数量也是三个。
7.根据权利要求1所述的一种以二氧化硅矿石为原料的集成电路用晶片检测设备,其特征在于:所述分流管(10)与弹性杆(11)两两相互配合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造