[发明专利]一种微波退火装置和微波退火方法

权利要求书

1.一种微波退火方法，其特征在于，应用于微波退火装置，所述微波退火装置包括退火腔体、与所述退火腔体连通的气体通路、微波源和波导传输系统，所述退火方法包括：

将表面具有非晶相涂层的待退火部件放置在所述退火腔体内，所述非晶相涂层中具有缺陷或空位，所述涂层为抗等离子体腐蚀涂层；

通过所述气体通路向所述退火腔体内通入预设气体，所述预设气体包括空气、氧气、含氮气体、含氟气体中的一种或多种；

控制所述微波源产生预设功率的微波，所述预设功率在500W~2000W范围内，通过所述波导传输系统将所述微波传输至所述退火腔体内，以便在所述预设气体氛围下对所述待退火部件进行低温微波退火，使所述预设气体被活化形成气体离子，从而使所述气体离子填入所述非晶相涂层中的缺陷或空位中，进而使所述待退火部件表面的非晶相涂层转变为结晶相涂层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待退火部件为等离子体刻蚀设备的零部件；

所述零部件包括喷淋头、气体管路、覆盖环和内衬。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述抗等离子体腐蚀涂层包括YF₃、YOF、YAG、YAP、YAM和YSZ涂层中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述微波退火装置还包括位于所述退火腔体内的承载台和位于所述承载台底部的转动部件，所述承载台用于承载所述待退火部件，进行微波退火时，所述退火方法还包括：

通过所述转动部件带动所述承载台以及位于所述承载台上的所述待退火部件绕所述承载台的中心旋转，以使所述微波照射到所述涂层的各个区域。