[发明专利]柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头

说明书

本发明涉及柔性电子膜技术领域，具体涉及一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，本发明通过光电非接触式检测目标曲面，避免了机械接触式检测划伤目标曲面，对非刚性曲面依然能准确检测；在柔性电子膜贴覆前进行共形变形，提高了其与目标曲面的贴合度，避免贴合过程对柔性电子膜的损伤；在拉杆末端设置支撑爪，在不增加拉杆的前提下增加了支撑点，提高了曲面模拟的精度。

背景技术

柔性曲面电子膜是一种可弯曲并且通过转印方式随形贴覆的集成电路，可以贴覆在任意曲面上，实现相应的电性功能，相比传统平面硅基电子传感器具有无可比拟的优势。

目前，柔性电子膜的贴合转印的过程是其生产难点，由于平面制造的柔性电子膜具有一定的刚性，对于随形曲面的贴合效果往往不佳，会出现褶皱、气泡等缺陷。通过贴覆前模具变形方式可以一定程度上解决这个问题，但是在对柔性电子膜压合变形时容易使柔性电子膜损坏。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中的上述不足，提供了一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，通过传感器检测待贴合的目标曲面，通过拉杆带动柔性电子膜变形构建与待贴合的目标曲面共形的曲面，以便贴合。

本发明的目的通过以下技术方案实现：一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，包括基座以及多组共形贴合头组件；

每组共形贴合头组件均包括穿设于基座内的拉杆以及用于驱动拉杆在基座内升降的驱动件；所述驱动件设于基座内；所述拉杆的一端与驱动件连接；所述拉杆的另一端突审出基座的一端；每组共形贴合头组件还包括设于基座另一端的传感器；所述传感器与驱动件电性连接；

所述拉杆的另一端突审出基座的一端后连接有静电吸附膜；所述静电吸附膜与拉杆之间设有支撑机构。

本发明进一步设置为，所述驱动件为直线电机；所述直线电机的输出端与拉杆的一端连接。

本发明进一步设置为，所述基座的另一端设有安装座；所述传感器设于安装座内；所述传感器为光电传感器。

本发明进一步设置为，所述基座内设有导向制动套；所述导向制动套套设于拉杆外。

本发明进一步设置为，所述拉杆另一端的端部设有与静电吸附膜的连接部。

本发明进一步设置为，所述静电吸附膜为高压静电吸附膜。

本发明进一步设置为，所述支撑机构包括支撑爪以及套设于拉杆另一端的膜片弹簧；所述支撑爪的一端与拉杆的另一端铰接；所述支撑爪上设有定位槽；所述膜片弹簧延伸有弹簧脚；所述弹簧脚设于定位槽内；所述弹簧脚与支撑爪的另一端连接。

本发明进一步设置为，所述支撑爪的数量为四个；四个支撑爪等间距设于拉杆的四周。

本发明的有益效果：1.通过光电非接触式检测目标曲面，避免了机械接触式检测划伤目标曲面，对非刚性曲面依然能准确检测；2.在柔性电子膜贴覆前进行共形变形，提高了其与目标曲面的贴合度，避免贴合过程对柔性电子膜的损伤；3.在拉杆末端设置支撑爪，在不增加拉杆的前提下增加了支撑点，提高了曲面模拟的精度。

附图说

利用附图对发明作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本发明的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。

图1是本发明与目标曲面配合的结构示意图；

图2是本实用其中一组共形贴合头组件的结构示意图；

图3是本发明拉杆与支撑机构配合的结构示意图；

其中：1-基座；11-驱动件；12-导向制动套；2-拉杆；21-连接部；3-安装座；31-传感器；4-静电吸附膜；5-支撑爪；51-定位槽；6-膜片弹簧；61-弹簧脚；7-目标曲面。