[发明专利]柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头

权利要求书

1.一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，其特征在于：其特征在于：其特征在于：（1）（1）（1）包括基座（1）以及多组共形贴合头组件；

每组共形贴合头组件均包括穿设于基座（1）内的拉杆（2）以及用于驱动拉杆（2）在基座（1）内升降的驱动件（11）；所述驱动件（11）设于基座（1）内；所述拉杆（2）的一端与驱动件（11）连接；所述拉杆（2）的另一端突审出基座（1）的一端；每组共形贴合头组件还包括设于基座（1）另一端的传感器（31）；所述传感器（31）与驱动件（11）电性连接；

所述拉杆（2）的另一端突审出基座（1）的一端后连接有静电吸附膜（4）；所述静电吸附膜（4）与拉杆（2）之间设有支撑机构。

2.根据权利要求1所述的一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，其特征在于：所述驱动件（11）为直线电机；所述直线电机的输出端与拉杆（2）的一端连接;所述基座（1）的另一端设有安装座（3）；所述传感器（31）设于安装座（3）内；所述传感器（31）为光电传感器;所述基座（1）内设有导向制动套（12）；所述导向制动套（12）套设于拉杆（2）外。

3.根据权利要求1所述的一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，其特征在于：所述拉杆（2）另一端的端部设有与静电吸附膜（4）的连接部（21）。

4.根据权利要求1所述的一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，其特征在于：所述静电吸附膜（4）为高压静电吸附膜。

5.根据权利要求1所述的一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，其特征在于：所述支撑机构包括支撑爪（5）以及套设于拉杆（2）另一端的膜片弹簧（6）；所述支撑爪（5）的一端与拉杆（2）的另一端铰接；所述支撑爪（5）上设有定位槽（51）；所述膜片弹簧（6）延伸有弹簧脚（61）；所述弹簧脚（61）设于定位槽（51）内；所述弹簧脚（61）与支撑爪（5）的另一端连接。

6.根据权利要求5所述的一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，其特征在于：所述支撑爪（5）的数量为四个；四个支撑爪（5）等间距设于拉杆（2）的四周。

7.根据权利要求5所述的一种柔性曲面电子膜非接触式高精度共形贴合头，其特征在于：所述支撑爪（5）的数量为四个；四个支撑爪（5）等间距设于拉杆（2）的四周。