[发明专利]一种分体式导电陶瓷舟的制备方法

权利要求书

1.一种分体式导电陶瓷舟的制备方法，其特征在于，所述导电陶瓷舟包含石墨加热器和石墨陶瓷舟两部分，石墨加热器为长方体，石墨加热器中间部分为连续的折回板条，石墨加热器两端顶部均设有U型凸台，两个U型凸台的U型开口相向设置，石墨加热器的两端与电源进行连接，石墨加热器的底部两端之间设有固定杆；

石墨陶瓷舟为长方体板，上部设有凹槽，凹槽用于盛融化的金属料，石墨陶瓷舟底部轮廓与石墨加热器两个U型凸台内的轮廓一致；

石墨加热器除两端部以外均设有PBN保护层，石墨陶瓷舟表面包覆一层PBN涂层，制备包括步骤如下：

(1)用机械加工出石墨加热器的两端、折回板条、U型凸台、固定杆，石墨加热器整体为一体制造，折回板条数量为至少两个；

(2)石墨加热器加PBN保护层：将(1)中的石墨加热器两端包覆后放入到高温反应炉内，水平放置，温度在1700-2000℃，压力在10-1000Pa的条件下，通入含有氮源和硼源的气体，在石墨加热器除两端部以外部分的表面沉积一层PBN保护层；

(3)用机械加工方式加工出石墨陶瓷舟，石墨陶瓷舟底部轮廓与石墨加热器两个U型凸台内的轮廓相匹配；

(4)石墨陶瓷舟加PBN涂层：将(3)中的石墨陶瓷舟放入到高温反应炉内，温度在1700-2000℃，压力在10-1000Pa的条件下，通入含有氮源和硼源的气体，在石墨加热器表面沉积一层PBN涂层；

(5)将带有PBN涂层的石墨陶瓷舟放置到带有PBN保护层的石墨加热器上进行使用。

2.根据权利要求1所述的分体式导电陶瓷舟的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所加工固定杆的数量为两个，固定杆的宽度为1-50mm，高度为1-50mm。

3.根据权利要求1所述的分体式导电陶瓷舟的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，加工的石墨加热器长为30-300mm，宽为10-100mm，高为1-50mm，石墨加热器整体包含两个以上折回板条，折回板条的宽度为1-50mm，相邻两个折回板条之间的距离为1-20mm，石墨加热器两端U型凸台比石墨加热器中间位置高1-10mm。

4.根据权利要求1所述的分体式导电陶瓷舟的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，在石墨加热器的两个U型凸台的U型开口加工出斜坡坡面，石墨陶瓷舟放入时自上而下会逐渐压紧。

5.根据权利要求1所述的分体式导电陶瓷舟的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，石墨加热器表面沉积的PBN保护层厚度10-500微米。

6.根据权利要求1所述的分体式导电陶瓷舟的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，石墨陶瓷舟长为30-300mm，宽为10-100mm，高为1-30mm，凹槽比边缘位置低1-20mm。

7.根据权利要求1所述的分体式导电陶瓷舟的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，石墨陶瓷舟表面包覆的PBN涂层的厚度为10-500微米。