[发明专利]一种CVD金刚石生长在线检测方法和系统

权利要求书

1.一种CVD金刚石生长在线检测方法，其特征在于，包括步骤：

S1、检测装置实时检测金刚石生长厚度，生成并输送厚度数据到控制中心；

S2、控制中心根据所述厚度数据生成实时生长曲线，所述控制中心读取当前金刚石生长环境数据，并根据所述环境数据将所述实时生长曲线与相同的环境数据的对比数据进行比对；

S3、根据比对结果控制金刚石生长的相关操作；

其中，所述步骤S3具体为：

S31、若实时生长速率与对比速率的差值小于预定值，则维持设备正常运转，正常生长金刚石，并执行步骤S1；

S32、若实时生长速率与对比速率的差值大于或等于预定值，则执行刻蚀修复操作，并在第二预定时间后执行步骤S1。

2.根据权利要求1所述的CVD金刚石生长在线检测方法，其特征在于，所述检测装置为位置传感器；实时检测为间隔第一预定时间检测一次。

3.根据权利要求1所述的CVD金刚石生长在线检测方法，其特征在于，所述对比数据为：

若干次检测并记录正常生长金刚石的完整生长周期的生长厚度数据，并生成若干生长曲线图，得到若干组生长速率数据，通过数据拟合，得到不同时间点的对比速率曲线。

4.根据权利要求书3所述的CVD金刚石生长在线检测方法，其特征在于，所述比对为：

S21、获取实时生长曲线的实时生长速率；

S22、获取所述对比数据中相同时间点的对比速率；

S23、将所述实时生长速率与所述对比速率进行比对，判断二者之间的差值是否小于预定值。

5.根据权利要求1所述的CVD金刚石生长在线检测方法，其特征在于，所述刻蚀修复操作为：

S321、通入氢气，同时匹配第一预定功率的微波；

S322、持续增加气体压力到第一预定压力，调整微波功率为第二预定功率；

S323、在刻蚀仓的温度达到目标温度后，通入氧气进行刻蚀。

6.根据权利要求1所述的CVD金刚石生长在线检测方法，其特征在于，所述步骤S32中，在执行所述刻蚀修复操作的同时，还对外发出报警信息；

所述报警信息包括设备编号、异常籽晶位置编号、将会执行的刻蚀操作。

7.一种使用权利要求1-6任一所述的在线检测方法的CVD金刚石生长在线检测系统，其特征在于，包括检测装置、控制中心、存储模块；

所述检测装置用于实时检测金刚石的表面位置，生成并输出厚度数据；

所述存储模块用于存储所述对比数据以及实时检测数据；

所述控制中心用于接收所述厚度数据，并读取所述存储模块中的对比数据，进行数据比对，并根据比对结果，控制设备运转。

8.根据权利要求7所述的CVD金刚石生长在线检测系统，其特征在于，还包括报警装置；所述报警装置包括LED和扬声器。