[发明专利]一种二维碲化铟纳米片及其制得的偏振光探测器有效
申请号: | 201911176005.9 | 申请日: | 2019-11-26 |
公开(公告)号: | CN111115590B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 李京波;杨淮;魏钟鸣;霍能杰 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | C01B19/04 | 分类号: | C01B19/04;H01L31/032;H01L31/09;B82Y40/00 |
代理公司: | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人: | 杨晓松 |
地址: | 510630 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二维 碲化铟 纳米 及其 偏振光 探测器 | ||
1.一种偏振光探测器,其特征在于,所述偏振光探测器依次包括重掺杂硅、二氧化硅绝缘层和二维材料碲化铟纳米片,采用光刻对二维材料碲化铟纳米片的两侧制作金属电极制得;所述碲化铟纳米片是将铟粉和碲粉混合后加热至480~520℃并保温,然后降温至460~480℃并保温,再冷却至室温,在不同温度下反应朝不同方向进行生长10~30天制得;所述铟粉和碲粉的摩尔比为1:2.5。
2.根据权利要求1所述的偏振光探测器,其特征在于,所述二氧化硅绝缘层的厚度为280~300nm;所述二维材料碲化铟纳米片的厚度为1~30nm。
3.根据权利要求1所述的偏振光探测器,其特征在于,所述金属电极为金或铂。
4.根据权利要求1所述的偏振光探测器,其特征在于,所述保温的时间均为24~48h。
5.根据权利要求1所述的偏振光探测器,其特征在于,所述降温至460~480℃的速率为1~2℃/h;所述冷却至室温的速率为5~10℃/h。
6.权利要求1-5任一项所述的偏振光探测器在可见-红外光探测或成像领域中的应用。
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