[发明专利]一种具有介质隔离测量模块的压力传感器在审
| 申请号: | 201911158400.4 | 申请日: | 2019-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN111006810A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
| 发明(设计)人: | 王小平;吴登峰;李凡亮;曹万 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
| 主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06 |
| 代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 汤蔚莉 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 具有 介质隔离 测量 模块 压力传感器 | ||
1.一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,其特征在于:从上至下依次包括防护盖(10)、第一外壳(20)和介质隔离模块(30);
所述介质隔离模块(30)包括基座(32),所述基座(32)的内部固定连接有压力芯片(39),所述基座(32)的下端依次密封连接有金属件(33)和压力接口(35),所述金属件(33)和压力接口(35)之间设有膜片(34);
所述基座(32)、金属件(33)和膜片(34)之间形成第一腔室(40),用于隔离封装;
所述第一腔室(40)的内部填充有硅油,用于传递压力,所述基座(32)的上端设有硅油填充孔(321),所述硅油填充孔(321)的上端密封连接有钢珠(31)。
2.根据权利要求1所述的一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,其特征在于:所述压力接口(35)的内部设有第二腔室(352),所述第二腔室(352)的上端且位于膜片(34)的下方安装有限位圆环(354);所述限位圆环(354)的上端面为倾斜状的环形面(353),用于限位和防止积液。
3.根据权利要求2所述的一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,其特征在于:所述第二腔室(352)的下端连接有挡片(38),所述第二腔室(352)的内部通过限位圆环(354)和挡片(38)安装有内部填充有检测介质的缓冲空心圆柱(37),用于吸收检测介质的体积变化;所述限位圆环(354)用于将缓冲空心圆柱(37)和膜片(34)进行隔离,避免两者接触。
4.根据权利要求1所述的一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,其特征在于:所述压力接口(35)的外表面设有O型圈槽(351),所述O型圈槽(351)的内部适配连接有密封件(36)。
5.根据权利要求1所述的一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,其特征在于:所述第一外壳(20)内部镶嵌冲压成型的信号引出线,第一外壳(20)通过注塑工艺一体成型。
6.根据权利要求1所述的一种具有介质隔离测量模块的压力传感器,其特征在于:所述防护盖(10)和第一外壳(20)之间设有第一电路板(15),所述压力芯片(39)上设置有引脚,所述第一电路板(15)与压力芯片(39)上的引脚和第一外壳(20)内的信号引出线电信连接。
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