[发明专利]一种腐蚀液及其制备方法和应用在审
| 申请号: | 201911120903.2 | 申请日: | 2019-11-15 |
| 公开(公告)号: | CN112812776A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
| 发明(设计)人: | 张临安;邓伟伟 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 主分类号: | C09K13/02 | 分类号: | C09K13/02;C30B29/06;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
| 地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 腐蚀 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种腐蚀液,其特征在于,所述腐蚀液包括质量百分比为0.5-4.5%的碱、0.01-0.225%的山梨酸钾、0.01-0.225%的乙酸钠、0.005-0.15%的十二烷基苯硫酸钠、0.055-0.46%的消泡剂、0.055-0.78%的表面活性剂、0.035-0.42%的分散剂、0.47-4.42%的功能性助剂以及余量的水。
2.根据权利要求1所述的腐蚀液,其特征在于,所述腐蚀液包括质量百分比为2.4-3%的碱、0.0195-0.105%的山梨酸钾、0.015-0.1%的乙酸钠、0.012-0.075%的十二烷基苯硫酸钠、0.105-0.31%的消泡剂、0.105-0.36%的表面活性剂、0.066-0.195%的分散剂、2.75-4.42%的功能性助剂以及余量的水。
3.根据权利要求1或2所述的腐蚀液,其特征在于,所述碱包括氢氧化钠和/或氢氧化钾;
优选地,所述消泡剂包括聚醚改性硅油和/或聚硅氧烷,优选聚二甲基硅氧烷。
4.根据权利要求1-3任一项所述的腐蚀液,其特征在于,所述表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、丙二醇嵌段聚醚或全氟烷基季胺碘化物中的任意一种或多种的组合;
优选地,所述分散剂包括聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯或聚丙烯酸钠中的任意一种或至少两种的组合。
5.根据权利要求1-4任一项所述的腐蚀液,其特征在于,所述腐蚀液还包括质量百分比为0.47-4.42%的功能性助剂;
优选地,所述功能性助剂包括氧化剂和/或稳定剂。
6.根据权利要求1-5任一项所述的腐蚀液的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:将氢氧化钾、制绒添加剂、单面抛光添加剂、去离子水以及任选的功能性助剂混合,得到所述腐蚀液;
优选地,所述混合是在搅拌条件下进行的。
7.一种基片层,其特征在于,所述基片层包括N型基底层、依次设置在N型基底层正面的发射极层和硼硅玻璃层,以及设置在N型基底层背面的金字塔型结构的绒面,所述金字塔型结构的绒面是通过权利要求1-5任一项所述腐蚀液刻蚀形成的。
8.根据权利要求7所述的基片层的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:将预处理后的N型基片采用权利要求1-5任一项所述的腐蚀液进行刻蚀,得到所述基片层;
优选地,所述刻蚀的温度为50-90℃;
优选地,所述刻蚀的时间为300-1200s;
优选地,所述预处理后的N型基片的制备方法包括:对预制品N型基片进行硼扩散,而后进行背面刻蚀除去背面以及侧面绕扩的硼硅玻璃层,得到所述预处理后的N型基片;
优选地,所述预制品N型基片为对N型基底层双面制绒得到的。
9.一种N型钝化接触电池的制备方法,其特征在于,所述N型钝化接触电池是通过权利要求7所述的基片层制备得到的。
10.根据权利要求9所述的制备方法制备得到的所述N型钝化接触电池。
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