[发明专利]一种谐振式MEMS压力传感器

权利要求书

1.一种谐振式MEMS压力传感器，其特征在于，包括：

敏感膜；

至少一根谐振梁，所述谐振梁的两端分别通过第一锚点和第二锚点固定在所述敏感膜上；

至少一个驱动器，用于驱动所述谐振梁；

至少一个检测器，用于检测谐振梁位移幅度，和驱动器一起构成闭环系统，使系统振动在谐振点；

转向机构，与所述谐振梁连接，还与所述驱动器和所述检测器中的一个或两个连接，使得所述驱动器和所述检测器中的一个或两个的运动方向正交于所述谐振梁的运动方向；所述转向机构为L型，包括：第一臂，通过第一传递梁与所述谐振梁连接；和第二臂，和所述第一臂相连，通过第二传递梁与所述驱动器或所述检测器中的一个或两个连接；所述转向机构的第一臂和第二臂的连接处为转点；所述转向机构的转点通过连接部与第三锚点相连，使得转向机构能绕所述转点转动；所述第二臂的长度大于所述第一臂的长度，使得所述检测器的运动幅度大于所述谐振梁的运动幅度，从而增强检测信号。

2.如权利要求1所述的谐振式MEMS压力传感器，其特征在于，所述第一传递梁通过第一折叠梁与所述谐振梁相连；和/或

所述第二传递梁通过第二折叠梁与所述驱动器或所述检测器中的一个或两个相连。

3.如权利要求2所述的谐振式MEMS压力传感器，其特征在于，所述第一折叠梁与所述第二折叠梁分别为位于第一传递梁与第二传递梁一侧的U型柔性结构；或者分别为位于第一传递梁与第二传递梁两侧对称分布的两个U型柔性结构。

4.如权利要求1所述的谐振式MEMS压力传感器，其特征在于，所述驱动器和所述检测器的运动方向均正交于所述谐振梁的运动方向；或者，所述驱动器的运动方向平行于所述谐振梁的运动方向，所述检测器的运动方向正交于所述谐振梁的运动方向；或者，所述驱动器的运动方向正交于所述谐振梁的运动方向，所述检测器的运动方向平行于所述谐振梁的运动方向。

5.如权利要求1所述的谐振式MEMS压力传感器，其特征在于，所述驱动器包括互相配合的驱动器固定梳齿组和驱动器可动梳齿组，所述驱动器的运动方向为所述驱动器可动梳齿组的运动方向；所述检测器包括互相配合的检测器固定梳齿组和检测器可动梳齿组，所述检测器的运动方向为所述检测器可动梳齿组的运动方向。

6.如权利要求1所述的谐振式MEMS压力传感器，其特征在于，所述至少一根谐振梁为两根及两根以上，两根及两根以上谐振梁之间采用耦合或非耦合的方式连接。

7.如权利要求1所述的谐振式MEMS压力传感器，其特征在于，驱动及检测方式为静电、压电、压阻、电磁、电热中的一种或多种。