[发明专利]一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法

权利要求书

1.一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，包括如下步骤：

（1）多晶原料的制备：将碳酸锂和氧化铌原料混合烧结后压块破碎，得到多晶原料；

（2）晶体的生长：将多晶原料放入位于多层温场中的铂金坩埚内，采用提拉法进行晶体生长，经过引晶、缩颈、放肩、收肩、等径生长、拉脱后得到多畴晶体；

（3）晶体的退火和极化：将多畴晶体埋入多晶原料中，进行退火和极化，得到所述8英寸铌酸锂晶体。

2.根据权利要求1所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，步骤（1）中的混合烧结工艺为：

A）预烧：将原料在740~760℃下预烧2~4h；

B）强化混料：将预烧后的原料在混料机中混料20~30h；

C）二次烧料：将强化混料后的原料升温至1225~1235℃，保温2~4h。

3.根据权利要求1或2所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，所述碳酸锂和氧化铌的质量比为（58~59）：（41~42）。

4.根据权利要求1所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，步骤（2）中所述的多层温场从外到内依次包括陶瓷坩埚、保温棉及刚玉坩埚，所述陶瓷坩埚内的底部设有高铝砖，所述刚玉坩埚置于高铝砖上，所述保温棉填充在陶瓷坩埚内壁和刚玉坩埚外壁之间，所述铂金坩埚放置在刚玉坩埚内。

5.根据权利要求4所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，所述保温棉为多晶莫来石棉。

6.根据权利要求1或4或5所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，所述铂金坩埚的直径为310～350mm。

7.根据权利要求1或4或5所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，步骤（2）中提拉法的提拉速度为0.5～1.5mm/h，轴向温度梯度为35～45℃/cm，旋转速度为 15～25r/min。

8.根据权利要求1所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，步骤（3）中的退火工艺为：30℃至200℃升温时间170~190min，200℃至1100℃升温时间1070~1090min，1100℃至1230℃±5℃升温时间为390~410min，保温时间550~650min，170~190min降至1170℃±10℃，保温230~250min，1650~1750min降至950℃，410~430min降至600℃。

9.根据权利要求8所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，步骤（3）退火过程中在1230℃±5℃时通电极化25~35min。

10.根据权利要求1或9所述的一种8英寸铌酸锂晶体的生产方法，其特征是，步骤（3）中，Z轴晶体的极化电流=1.9625*晶体直径（cm）*晶体直径(cm) mA；Y、X轴晶体的极化电流=1.9625*晶体直径（cm）*晶体长度(cm) mA。