[发明专利]触控面板、触控面板的制作方法及显示装置

说明书

触控面板、触控面板的制作方法及显示装置。本发明提供的触控面板的制作方法，通过将透明导电薄膜设置在位于上层的第二引线上方，解决了走线区的引线易被氧化腐蚀的问题，只需针对透明导电薄膜的各个湿制程进行烘烤，以烘干透明导电薄膜湿制程后所带来的水汽，精简了制程工序，降低了成本，并且改善了透明导电薄膜因吸水而产生气泡的问题，提高了触控面板的产品品质。

技术领域

本发明涉及触控技术领域，特别是涉及一种触控面板、触控面板的制作方法及显示装置。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)由于其体积小、厚度薄及功耗低等原因被广泛的应用于手机、电脑等显示领域，但是随着人们对LCD的性能要求的提高，具有触控功能的显示器日益成为人们需要的主流产品。

现有的触控技术主要分为外挂式、In Cell技术及On Cell技术。外挂式即指LCD与触摸层是分开的，触摸层设置在玻璃板或者是有机材料上，再将具有触摸层的玻璃或者是有机材料贴合到LCD表面。虽然外挂式触控满足了人们对于触控功能的需要，但是因为其是将具有触摸层的玻璃或者有机材料贴合到LCD表面，增加了LCD的厚度与重量。In Cell技术指的是将触控功能嵌入到LCD中，其需要在薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)阵列上的像素内部嵌入触控传感器，但是由于In Cell技术必须使用复杂的半导体制造工艺，这成为提高成品率的绊脚石。另外，在像素内嵌入触控传感器，可利用于显示的面积部分便会减少，导致画质劣化。On Cell技术则是指将触控层嵌入到LCD的彩膜基板与偏光片之间，容易确保成品率，另外，像素内的有效显示区域的面积也不会减小，几乎不会由此发生画质劣化现象，因此得到广泛的应用。

目前On Cell触控面板的制造流程中，新增透明导电薄膜(ITO layer)保护走线区的金属引线不被腐蚀，通常将透明导电薄膜设置在位于下层的金属引线层上，但在实际生产中因透明导电薄膜未Poly化(多晶化)/吸水性强，导致pad上透明导电薄膜吸水出现气泡不良和鼓包现象；再经过后续层别的制程高压水洗，容易使得气泡破裂；再经风刀吹后透明导电薄膜容易脱落，下方的金属引线暴露在空气中易产生被氧化腐蚀的风险，从而影响触控面板的产品品质。现有技术中一般采用在下层的引线上沉积透明导电薄膜后，对后续层别的每道湿制程后都需进行烘烤(oven)，例如该透明导电薄膜和设置在透明导电薄膜上的绝缘层以及上层的引线都需要进行黄光、蚀刻和去光阻后的水洗湿制程工序，每道湿制程后都进行烘烤，以烘干水汽，可改善透明导电薄膜的气泡问题，但是因为后续层别的每道湿制程都需烘烤工序，会造成制程工序繁琐、机台烘烤产能不足以及成本增加的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种触控面板、触控面板的制作方法及显示装置，能够解决走线区的引线易被氧化腐蚀的问题，提高了触控面板的产品品质。

本发明提供一种触控面板的制作方法，所述触控面板包括触控感应区和位于所述触控感应区外围的走线区，所述走线区设置有彼此间隔绝缘的多条第一引线和多条第二引线，所述第二引线位于所述第一引线上方，所述制作方法包括：

在所述第二引线上方沉积透明导电薄膜；

对所述透明导电薄膜依次进行涂布光阻、曝光及显影，显影后进行水洗处理，以将显影液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第一次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；

对第一次烘烤后的所述透明导电薄膜进行蚀刻，蚀刻后进行水洗处理，以将蚀刻液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第二次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；

对第二次烘烤后的所述透明导电薄膜进行去除光阻，去除光阻后进行水洗处理，以将脱膜液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第三次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽，从而形成覆盖所述第一引线和所述第二引线的透明导电薄膜。

进一步地，在所述第二引线上方沉积透明导电薄膜前，对所述第二引线进行处理使所述第二引线表面粗糙。