[发明专利]测试图案产生系统及方法有效

专利信息
申请号: 201911036040.0 申请日: 2019-10-29
公开(公告)号: CN111125995B 公开(公告)日: 2023-10-17
发明(设计)人: 田福安;黄旭霆;刘如淦 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: G06F30/398 分类号: G06F30/398
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 测试 图案 产生 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种测试图案产生系统,其特征在于,包含:

一测试图案产生电路,其在使用时包括以下步骤:

接收一杂讯影像;

根据该杂讯影像产生一图案影像;以及

根据该图案影像产生一测试图案,该测试图案由一电子元件设计布局的复数个几何形状所表示,其中该电子元件设计布局不具有设计规则检查错误。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,该测试图案产生电路包含:

一测试图案机器学习电路,包含一产生器和一鉴别器,该产生器和该鉴别器各包含一分别受过训练的卷积神经网络,该产生器配置于根据该杂讯影像产生该图案影像,该鉴别器配置于分类该图案影像为代表一有效布局片或是一无效布局片。

3.一种测试图案产生方法,其特征在于,包含:

通过一测试图案产生电路,接收一杂讯影像,该杂讯影像以一随机杂讯表示;

通过该测试图案产生电路,根据接收到的该杂讯影像产生一图案影像;以及

通过该测试图案产生电路,根据该图案影像产生一测试图案,该测试图案由一电子元件设计布局的复数个几何形状所表示,其中该电子元件设计布局不具有设计规则检查错误。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,还包含:

通过一设计规则检查电路,确认该测试图案是否具有一个或多个测试规则检查错误。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,还包含:

因应确认该测试图案不具有测试规则检查错误的情况下,将该测试图案储存至一测试图案数据库。

6.一种测试图案产生方法,其特征在于,包含:

训练一测试图案产生机器电路的一鉴别器,通过:

提供由第一复数个布局片所代表的一第一训练输入至该鉴别器,其中用于电子元件的该些第一复数个布局片已知为不具有设计规则检查错误;以及

提供第二复数个布局片所代表的一第二训练输入至该鉴别器,其中用于电子元件的该些第二复数个布局片已知为具有一个或多个设计规则检查错误;以及

根据该训练调整该鉴别器的复数个参数,该鉴别器配置于根据调整后的该些参数,将一接收到的输入分类为代表一有效布局片或是一无效布局片。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,调整该鉴别器的该些参数包含调整一卷积神经网络的一权重或是一偏差的至少一者。

8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,还包含:

通过一光栅化电路,接收该些第一复数个布局片;

通过该光栅化电路,根据该些第一复数个布局片产生该第一训练输入,该第一训练输入为该些第一复数个布局片的复数个光栅化影像;

通过该光栅化电路,接收该些第二复数个布局片;以及

通过该光栅化电路,根据该些第二复数个布局片产生该第二训练输入,该第二训练输入为该些第二复数个布局片的复数个光栅化影像。

9.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,还包含:

训练该测试图案机器学习电路的一产生器,通过:

将复数个随机杂讯影像作为一训练输入提供至该产生器;

通过该产生器,根据该些随机杂讯影像产生复数个第一图案影像;

通过该鉴别器,根据该产生器产生的该些第一图案影像产生一误差信息,该误差信息代表该鉴别器对该些第一图案影像的复数个分类和一有效布局片分类的复数个偏差;以及

根据该误差信息调整该产生器的参数。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,还包含:

在该产生器的该些参数被修正后,根据该产生器所产生的复数个第二图案影像,进一步训练该鉴别器;以及

根据该进一步训练,调整该鉴别器的该些参数。

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