[发明专利]一种靶材垂直度检测装置

说明书

本发明公开了一种靶材垂直度检测装置，包括底座和透光台，底座和透光台的两侧间安装升降机构，底座上安装多个照明灯，透光台顶部两个邻边间安装固定定位块，透光台顶部另两个邻边处均安装固定板，固定板两端开有导向孔，导向孔内套接导向杆，导向杆一端连接活动定位块，固定板外壁上安装推动气缸，推动气缸的推杆连接活动定位块的外壁。靶材的两个邻边紧贴固定定位块的两个内壁，推动气缸推动活动定位块，活动定位块将靶材的另两个邻边定位压紧，便于对不同大小的靶材固定，照明灯的光线从透光台底部照射到靶材四边，便于人眼观察，通过升降机构带动透光台升降，调节透光台高度，便于控制靶材与照明灯间距，便于对不同高度的靶材进行检测观察。

技术领域

本发明涉及靶材技术领域，具体为一种靶材垂直度检测装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，常见的靶材具有圆柱和矩形结构，对于矩形靶材而言，在靶材制造出后需要对靶材外壁的垂直度进行检测，目前的检测方式都是直接将靶材放在检测台上采用量具进行检测，检测时靶材容易移动，且常常借助检测台上方的台灯等光线进行观察，观察时头部容易遮挡光线，导致观察点视线偏暗，且通过上方台灯照射无法将靶材四周外壁均照亮，不利于人眼观察，为此我们提出一种靶材垂直度检测装置用于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种靶材垂直度检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种靶材垂直度检测装置，包括底座和透光台，所述底座上四角处均固定安装固定座，所述透光台的底部四角均固定安装导向柱，所述导向柱滑动卡接在固定座的内腔中，所述底座和透光台的两侧间安装升降机构，所述底座上固定安装多个照明灯，所述透光台顶部两个邻边间固定安装固定定位块，所述透光台顶部另两个邻边处均固定安装固定板，所述固定板两端开有导向孔，所述导向孔内滑动套接导向杆，所述导向杆靠近固定定位块的一端贯穿导向孔并固定连接活动定位块，所述导向孔间的固定板外壁上固定安装推动气缸，所述推动气缸的推杆贯穿固定板并固定连接活动定位块的外壁。

优选的，所述透光台为透明亚克力板，所述照明灯为多个LED等，且多个LED等沿底座顶面均匀分布，所述照明灯的灯光竖直向上。

优选的，所述固定定位块的L型结构，且固定定位块的两边内壁相互垂直，两个所述固定板分别平行于L型结构的固定定位块的两个内壁，所述导向孔和导向杆的直径相同，且导向孔和导向杆的轴线均垂直于固定板。

优选的，所述升降机构包括固定套和滑动套，所述底座的两侧顶部均固定安装固定套，所述透光台的两侧底部均固定安装滑动套，所述滑动套滑动套接在固定套内，所述滑动套的内腔通过螺纹结构套接升降螺杆，所述升降螺杆的底部转动贯穿底座的顶部并固定连接蜗轮，所述固定套底部的底座内开有安装槽，所述安装槽内转动套接蜗杆，所述蜗杆的两端分别啮合底座两侧的蜗轮。

优选的，所述滑动套位于透光台侧壁中点处，所述固定套的内壁开有限位槽，所述滑动套接的外壁底部固定安装限位块，所述限位块滑动卡接在限位槽内，所述蜗杆的一端转动贯穿底座的侧壁并固定安装手轮。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过固定定位块的两侧内壁对靶材两个邻边和一角进行初步定位，推动气缸推动活动定位块，活动定位块通过导向杆和导向孔导向平行与固定定位块的两侧壁移动，从而对靶材的另两个邻边定位压紧，便于对不同大小的靶材定位固定，便于检测和观察；照明灯光线从透光台底部照射，且照明灯分布面积大于固定定位块和固定板间面积，从而对靶材进行完全照射，且避免观察时头部遮挡光线，便于人眼观察；通过蜗杆同时带动底座两侧的蜗轮转动，从而使得底座两侧的升降螺柱同时转动，则滑动套同时沿固定套滑动，从而带动透光台快速升降，便于调节靶材距离照明灯的距离，便于对不同高度的靶材进行检测观察；滑动套位于透光台侧壁中点处，从而使得透光台升降时两侧受力更均衡，升降更平稳，且通过限位块和限位槽对滑动套进行限位，确保滑动套与固定套保持连接。