[发明专利]一种靶材垂直度检测装置在审
| 申请号： | 201910998472.3 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110608688A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 何建进;陈江伟;何凌男 | 申请（专利权）人： | 苏州精美科光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 11496 北京君泊知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透光 靶材 活动定位块 邻边 推动气缸 照明灯 底座 升降机构 导向杆 导向孔 定位块 垂直度检测装置 四边 安装固定板 固定板外壁 安装固定 紧贴固定 人眼观察 推杆连接 一端连接 固定板 内壁 内套 外壁 压紧 升降 照射 检测 观察 | ||
1.一种靶材垂直度检测装置，包括底座(1)和透光台(2)，其特征在于：所述底座(1)上四角处均固定安装固定座(3)，所述透光台(2)的底部四角均固定安装导向柱(4)，所述导向柱(4)滑动卡接在固定座(3)的内腔中，所述底座(1)和透光台(2)的两侧间安装升降机构(5)，所述底座(1)上固定安装多个照明灯(12)，所述透光台(2)顶部两个邻边间固定安装固定定位块(6)，所述透光台(2)顶部另两个邻边处均固定安装固定板(7)，所述固定板(7)两端开有导向孔(9)，所述导向孔(9)内滑动套接导向杆(10)，所述导向杆(10)靠近固定定位块(6)的一端贯穿导向孔(9)并固定连接活动定位块(8)，所述导向孔(9)间的固定板(7)外壁上固定安装推动气缸(11)，所述推动气缸(11)的推杆贯穿固定板(7)并固定连接活动定位块(8)的外壁。
2.根据权利要求1所述的一种靶材垂直度检测装置，其特征在于：所述透光台(2)为透明亚克力板，所述照明灯(12)为多个LED等，且多个LED等沿底座(1)顶面均匀分布，所述照明灯(12)的灯光竖直向上。
3.根据权利要求1所述的一种靶材垂直度检测装置，其特征在于：所述固定定位块(6)的L型结构，且固定定位块(6)的两边内壁相互垂直，两个所述固定板(7)分别平行于L型结构的固定定位块(6)的两个内壁，所述导向孔(9)和导向杆(10)的直径相同，且导向孔(9)和导向杆(10)的轴线均垂直于固定板(7)。
4.根据权利要求1所述的一种靶材垂直度检测装置，其特征在于：所述升降机构(5)包括固定套(51)和滑动套(52)，所述底座(1)的两侧顶部均固定安装固定套(51)，所述透光台(2)的两侧底部均固定安装滑动套(52)，所述滑动套(52)滑动套接在固定套(51)内，所述滑动套(52)的内腔通过螺纹结构套接升降螺杆(53)，所述升降螺杆(53)的底部转动贯穿底座(1)的顶部并固定连接蜗轮(55)，所述固定套(51)底部的底座(1)内开有安装槽(56)，所述安装槽(56)内转动套接蜗杆(55)，所述蜗杆(55)的两端分别啮合底座(1)两侧的蜗轮(54)。
5.根据权利要求4所述的一种靶材垂直度检测装置，其特征在于：所述滑动套(52)位于透光台(2)侧壁中点处，所述固定套(51)的内壁开有限位槽(13)，所述滑动套接(52)的外壁底部固定安装限位块(14)，所述限位块(14)滑动卡接在限位槽(13)内，所述蜗杆(55)的一端转动贯穿底座(1)的侧壁并固定安装手轮(15)。
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